[实用新型]石墨舟陶瓷圈

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种陶瓷圈，特别涉及一种石墨舟陶瓷圈。

背景技术

太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反映，在硅片表面镀上一层膜。

石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。

石墨舟上固定有不同数量的石墨舟片，石墨舟片是用陶瓷杆穿套起来的，石墨舟片之间依靠同样穿套在陶瓷杆上的陶瓷圈控制距离。石墨舟在使用一定次数后，石墨舟上各部分表面上会被镀上一层氮化硅，此时需要采用适当浓度的氢氟酸来清洗石墨舟，再用清水清洗，现有石墨舟陶瓷圈上没有排水的通道，使得氢氟酸不能有效排除，残留的氢氟酸加速了陶瓷圈的腐蚀速度，工业生产中需经常更换陶瓷圈。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决上述不足，提供一种具有导流槽能有效排除氢氟酸的陶瓷圈。

实现本实用新型目的技术方案是：一种石墨舟陶瓷圈，其为圆环状结构，包括外圆周，内圆周，在外圆周上开设有导流槽。

上述石墨舟陶瓷杆，所述导流槽为沿轴向水平开设。

上述石墨舟陶瓷圈，其特征在于：所述导流槽数量为一条以上。

上述石墨舟陶瓷圈，其特征在于：所述导流槽数量为一条。

上述石墨舟陶瓷圈，其特征在于：所述导流槽数量为两条。

本实用新型具有积极的效果：（1）结构简单，实用；（2）开设导流槽能有效的使氢氟酸引流出去，能有效延长陶瓷圈的寿命。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型为一条导流槽的结构示意图；图2为本实用新型为两条导流槽的结构示意图。

其中：1外圆周面，2内圆周面，3导流槽。

具体实施方式

实施例（1）

见图1，本实用新型石墨舟陶瓷圈，其为圆环状结构，包括外圆周面1，内圆周面2，在外圆周面2上开设有导流槽3。使用时，清洗完石墨舟后，残留的氢氟酸会顺着导流槽3流出，然后再用清水清洗石墨舟，清水也能快速从导流槽3中流出，再进行清洗的后续步骤。

实施例（2）

见图2石墨舟陶瓷圈，其为圆环状结构，包括外圆周面1，内圆周面2，在外圆周面2上开设有2条导流槽3，。使用时，清洗完石墨舟后，残留的氢氟酸会顺着导流槽流出，然后再用清水清洗石墨舟，清水也能快速从导流槽中流出，再进行清洗的后续步骤。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。