[实用新型]定点切割机的晶圆样品制备模板装置

权利要求书

1.一种定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，包括：

校准部件，具有至少一直线；

定位部件，所述定位部件为条形，宽度大于等于10mm，长度大于等于20mm，所述定位部件与所述校准部件相连接，所述定位部件与所述校准部件的至少一直线之间具有夹角；

标记，所述标记包括用于第一方向定位的第一标记、第二标记及用于第二方向定位的第三标记和第四标记，所述第一标记、第二标记、第三标记和第四标记均位于所述定位部件上，所述第一标记与第二标记的第一方向的距离为18mm～22mm，所述第三标记与第四标记的第二方向的距离为8mm～12mm，所述第一方向为所述定位部件的长度方向，所述第二方向为所述定位部件的宽度方向；以及

样品孔，用于确定目标位置，所述样品孔位于所述定位部件上，所述样品孔中心的第一方向位置位于所述第一标记与第二标记的第一方向的距离的二分之一处。

2.如权利要求1所述的定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，所述校准部件包括至少一条形主体，所述直线为所述条形主体的一边。

3.如权利要求2所述的定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，所述条形主体与定位部件固定连接。

4.如权利要求3所述的定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，所述定位部件与所述条形主体的条形边长之间的夹角为30°～60°。

5.如权利要求3所述的定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，所述条形主体的宽度为5mm～20mm，长度为20mm～400mm。

6.如权利要求2所述的定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，所述校准部件还包括用于测量所述定位部件与所述条形主体之间的夹角的测量部件，所述测量部件与所述条形主体相连。

7.如权利要求6所述的定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，所述条形主体与定位部件旋转连接。

8.如权利要求6所述的定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，所述定位部件与所述条形主体的夹角为0°～90°可调。

9.如权利要求1-8中任意一项所述的定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，所述样品孔的直径小于等于3mm。

10.如权利要求1-8中任意一项所述的定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，所述定位部件的长度为20mm～400mm。

11.如权利要求1-8中任意一项所述的定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，所述样品孔中心的第二方向位置位于所述第三标记与第四标记的第二方向的距离的二分之一处。

12.如权利要求1-8中任意一项所述的定点切割机的晶圆样品制备模板装置，其特征在于，所述样品孔的第二方向位置与所述第三标记或第四标记的第二方向的距离为零。