[实用新型]一种方便清理的滚轮外罩

说明书

技术领域

本实用新型属于传送沉积系统中的基材领域，尤其涉及一种方便清理的滚轮外罩。

背景技术

薄膜太阳电池可以用价格低廉的玻璃、塑料、陶瓷、石墨、金属片等不同材料做基板，又具有可挠性可以制作成非平面构造，可与建筑物结合或是变成建筑体的一部份，应用非常广泛。在薄膜太阳电池制造上，常在—CVD系统内进行基材上的薄膜层的制程。反应物进入制程区，待处理（例如涂层）的基板被置于热板上加热到合适沉积的温度环境。至少部分的化学反应生成物会沉积在基板上，残余物会通过排气设备排除制程区。

在传送系统中，基板通过下方的滚轮组进行水平传送。当这些滚轮暴露在制程室里时，滚轮会被制程室内气体污染。当滚轮传送下一块基板时，下一块的基板背面会被滚轮污染。同时滚轮上的污染物堆积到一定量会容易脱落到制程室，影响制程反应效果。中国专利CN 201485502U公布了一种外罩装置，但其结构复杂，污染物堆积到一定量后需要繁琐的拆卸工作，清理起来十分不方便，耗费大量精力。

因此，急需一种在改善制程效果的同时，结构合理、清理起来方便快捷的外罩装置。

发明内容

本实用新型的目的是针对上述提到的问题，提供一种方便清理的外罩装置，该外罩除了能够改善制程效果以外，结构简单、拆卸方便、便于清理和维护。

本实用新型的技术方案是：

本实用新型包括顶板、凸出板、底罩、凸出底仓和顶板上的滚轮导轨；

本实用新型的顶板固定在底罩上，顶板与底罩之间的空腔中设置与转动轴相连的滚轮，顶盖上的滚轮导轨与滚轮相连；凸出板连接在顶板的末端上方，凸出底仓连接在底罩的末端。

所述顶板是长方体的。

所述凸出板是长方体的，被设置成可以至少部分保护滚轮，以免受到沉积系统内的物质污染。

所述凸出底仓被设置可以至少部分保护沉积系统，以免滚轮上的物质污染沉积系统。

 本实用新型有益效果如下：

本实用新型除了能够至少部分保护滚轮不受到沉积的影响，还至少部分保护沉积系统不被滚轮上的物质污染，有效的优化制程效果。同时本实用新型设计简单、结构合理、拆卸清理起来十分方便，使用起来节省大量精力。 

附图说明

图1为滚轮组上传送基板的部分沉积系统的上视图。

图2为本实用新型的传送基材侧视图。

图3为本实用新型的立体结构侧视图。

 图中，顶板 1、底罩2、凸出板3、凸出底仓4、滚轮5、滚轮导轨6、转动轴7、基板8。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明。

如图1所示为在复数个滚轮5上传递基板8的部分沉积系统。滚轮5在传动轴7促动下，从基板8较低表面的背端接触。如出现目标位置，基材支撑体中的支撑物（如加热板）会从较低位提起，从滚轮5上提起基板8。滚轮5会从基板8收回，以避免影响随后的处理步骤。当沉积过程结束后，滚轮5会返回原工作位置，通过降低基材支撑物将基板8置放回滚轮5上，并传送基材8。

如图2显示更多细节，滚轮外罩包括顶板1、凸出板3、底罩2、凸出底仓4和顶板上的滚轮导轨6，顶板1固定在底2罩上，顶板1与底罩2之间的空腔中设置与转动轴7相连的滚轮5，顶盖1上的滚轮导轨6与滚轮5相连；凸出板3连接在顶板1的末端上方，凸出底仓4连接在底罩2的末端。基板8与安装在外罩内的滚轮5相接触，滚轮5转动可促使基板8的传动。在滚轮转动的过程中，部分滚轮上的物质会落在凸出底仓5内。

如图3所示，当滚轮5从基材8处收回，沉积过程开始，沉积物质可部分落在凸出板3上，凸出板3可至少部分保护滚轮5。 

 本实用新型由于设有凸出板和凸出底仓，在制程过程中能至少部分保护滚轮不受制程系统的污染，有效的优化了制程效果。同时本实验新型结构简单，平时正常清理时只需要用吸尘器对其进行清理即可，节省使用者的精力和时间。