[实用新型]支撑脚装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体晶片工艺技术领域，特别涉及一种支撑脚装置，尤其涉及一种用于半导体晶片工艺过程的支撑脚装置。

背景技术

现有技术的支撑脚都是半开放式的，只能调节支撑脚到圆心的前后距离，这种支撑脚只需在圆环上开相应的对心槽即可实现，但在实际应用中有一定的局限性。比如，在半导体行业，根据设备本身的结构，机械手的活动空间受到一定的限制，取片时可能会由于支撑脚的安装位置不当，导致机械手出现撞车的情况。这种情况下，在不改变支撑脚大小，如果扩大机械手的进手范围，从而会避免上述情况发生，同时也会节省设备本身的空间。图1为现有技术去掉其中一个支撑脚本体后的结构图，如图1所示，现有技术的支撑脚本体1只能通过对心槽3来调节支撑脚本体1到圆心距离，不能使之根据设备本身的结构要求使支撑脚本体1沿支撑环2调节位置，这样调节形式单一。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种构简单、易实现、可以不受设备结构限制，节省设备空间、可根据需要沿圆环调节位置的开放式支撑脚装置。

（二）技术方案

一种支撑脚装置，包括：支撑脚本体、支撑脚螺母和支撑环，所述支撑脚本体位于支撑环上表面，所述支撑脚螺母穿过支撑环下表面与所述支撑脚本体通过紧固件紧固，所述支撑脚本体和支撑脚螺母夹紧所述支撑环。

更好地，所述支撑脚本体包括：在所述支撑脚本体上表面开设的调节所述支撑脚本体到所述支撑环圆心的距离的长形圆孔，在所述支撑脚本体下表面开设的使支撑脚本体滑行的滑行槽，所述滑行槽与所述长形圆孔连通；所述支撑脚本体还包括支撑晶片的斜行面和防止机械手碰撞的槽孔。

更好地，支撑脚螺母包括：在所述支撑脚螺母上表面开设的紧固所述支撑脚本体的螺纹孔，所述螺纹孔上下贯通所述支撑脚螺母，所述支撑脚螺母还包括：卡入所述滑行槽的滑行块、固定所述支撑环的突出块和挡板，所述滑行块的宽度与滑行槽内壁之间的宽度相同，所述挡板的上表面与所述支撑环的下表面紧密贴合。

更好地，所述支撑环包括：两个套连的同心圆环。

更好地，所述支撑脚螺母突出块上设有两个圆弧面，所述两个圆弧面与所述两个套连的同心圆环之间的内圆面接触，并且所述突出块的宽度与所述两个同心圆环之间的距离相等。

更好地，所述卡入滑行槽的滑行块的上表面与滑行槽留有间隙。

更好地，所述支撑脚本体及支撑脚螺母至少为3件。

更好地，所述紧固件为螺栓。

（三）有益效果

本实用新型的支撑脚装置结构简单、易实现、可以不受设备结构限制，节省设备空间、可根据需要沿圆环调节位置，以克服现有技术中支撑脚单一性安装方式的缺陷。

附图说明

图1为现有技术去掉其中一个支撑脚本体后的结构图；

图2为本实用新型支撑脚装置的剖面图；

图3为本实用新型支撑脚本体的结构示意图；

图4为本实用新型支撑脚螺母的结构示意图；

图5为本实用新型支撑环的结构示意图；

图6为本实用新型支撑脚装置使用示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图2所示，本实用新型提供一种支撑脚装置，包括：支撑脚本体100、支撑脚螺母200和支撑环300，所述支撑脚本体100位于支撑环300上表面，所述支撑脚螺母200穿过支撑环300下表面与所述支撑脚本体100通过紧固件400紧固，所述支撑脚本体100和支撑脚螺母200夹紧所述支撑环300。所述紧固件400为螺栓。

如图3所示，所述支撑脚本体100包括：在所述支撑脚本体100上表面开设的调节所述支撑脚本体100到所述支撑环300圆心的距离的长形圆孔101，在所述支撑脚本体100下表面开设的使支撑脚本体100滑行的滑行槽102，所述滑行槽102与所述长形圆孔101连通；所述支撑脚本体100还包括支撑晶片4的斜行面103和防止机械手碰撞的槽孔104。