[实用新型]激光反射镜有效
申请号: | 201220397032.6 | 申请日: | 2012-08-06 |
公开(公告)号: | CN202815247U | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 卜轶坤;关振奋;吴冠伟;张慎兴 | 申请(专利权)人: | 晋谱(福建)光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/08 | 分类号: | G02B5/08;G02B1/10;B32B9/04 |
代理公司: | 福州市鼓楼区博深专利代理事务所(普通合伙) 35214 | 代理人: | 林志峥 |
地址: | 351115 福建省莆*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 反射 | ||
1.一种激光反射镜,包括基底层,其特征在于,所述基底层上依次设有由多层四分之一光学厚度薄膜层构成的高反射膜堆、由多层二分之一光学厚度薄膜层构成的连接膜堆、由多层四分之一光学厚度薄膜层构成的激光抵抗膜堆和由多层二分之一光学厚度薄膜层构成的保护膜堆。
2.根据权利要求1所述的激光反射镜,其特征在于,所述高反射膜堆由高折射率薄膜层和低折射率薄膜层依次交替叠加组成,所述高折射率薄膜层是TiO2薄膜层、Nb2O5薄膜层和Ta2O5薄膜层中的一种,所述低折射率薄膜层是SiO2薄膜层。
3.根据权利要求2所述的激光反射镜,其特征在于,所述高反射膜堆最外侧与所述连接膜堆贴合的薄膜层为SiO2薄膜层。
4.根据权利要求1所述的激光反射镜,其特征在于,所述激光抵抗膜堆由具有高损伤阀值的薄膜层和低折射率薄膜层依次交替叠加组成,所述有高损伤阀值的薄膜层是AL2O3薄膜层、Y2O3薄膜层、HfO2薄膜层中的一种,所述低折射率薄膜层为SiO2薄膜层。
5.根据权利要求4所述的激光反射镜,其特征在于,所述激光抵抗膜堆设有奇数层的薄膜层。
6.根据权利要求1-5任一项所述的激光反射镜,其特征在于,所述连接膜堆是由SiO2薄膜层组成。
7.根据权利要求1-5任一项所述的激光反射镜,其特征在于,所述保护膜堆是由SiO2薄膜层组成。
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