[实用新型]直拉法单晶炉热场结构

权利要求书

1.一种直拉法单晶炉热场结构，包括：炉体、位于炉体内的坩埚、位于炉体内及坩埚外的保温筒、位于坩埚外及保温筒中部之间的加热器以及位于保温筒内及坩埚之上的导流筒，其特征在于，所述导流筒包括内导流筒及套在所述内导流筒外的外导流筒；所述保温筒包括上保温筒、中保温筒及下保温筒；所述上保温筒上设有上保温盖，所述上保温盖与外导流筒的开口边缘连接；所述中保温筒上设有中保温盖，所述中保温盖和上保温筒之间设置排气口装置。

2.根据权利要求1所述的直拉法单晶炉热场结构，其特征在于，所述排气口装置包括上保温筒定位环、支撑环、定位柱、第一挡气环和第二挡气环，第一挡气环和第二挡气环由上置下依次设置在中保温盖上方，支撑环套设在第一挡气环的上端周侧，上保温筒定位环设置于上保温筒与支撑环之间且位于第二挡气环外侧；所述上保温筒定位环和支撑环之间通过定位柱撑开。

3.根据权利要求1所述的直拉法单晶炉热场结构，其特征在于，所述加热器的侧壁与保温筒的侧壁平行；所述导流筒之上设有封气环，所述封气环上设有压环。

4.根据权利要求1所述的直拉法单晶炉热场结构，其特征在于，还包括若干支撑柱，连接在所述保温筒底部与炉体底部之间，用于支撑保温筒；所述支撑柱截面形状至少为以下之一：圆形、四边形或四边以上的多边形。

5.根据权利要求1所述的直拉法单晶炉热场结构，其特征在于，还包括托杆轴，设置在所述坩埚的下方，所述托杆轴与炉体的转动机构连接，在拉晶时，带动坩埚及坩埚内的硅料转动。

6.根据权利要求5所述的直拉法单晶炉热场结构，其特征在于，所述坩埚底部依次设有坩埚托盘和与坩埚托盘固定连接的托盘基座，所述托盘基座与托杆轴通过托杆螺栓紧固；所述托杆轴通过所述坩埚托盘和托盘基座与坩埚底部固定连接。

7.根据权利要求6所述的直拉法单晶炉热场结构，其特征在于，所述托杆轴外侧套设有托杆轴护套和挡料罩，所述挡料罩位于所述托杆轴护套的上方。

8.根据权利要求3所述的直拉法单晶炉热场结构，其特征在于，所述内导流筒和外导流筒的开口边缘之间由内至外分别设置有导流筒定位环和导流筒护环；所述导流筒护环的上端连接所述封气环的内侧边。

9.根据权利要求2所述的直拉法单晶炉热场结构，其特征在于，所述保温筒外侧及底部均设有软毡；所述保温筒的下保温筒底部的软毡之上设有炉底压板；所述炉底压板上设有电极，所述电极通过电极螺栓与所述加热器导电连接；所述定位柱截面形状至少为以下之一：圆形、四边形或四边以上的多边形 ；所述定位柱为2个或以上。

10.根据权利要求9所述的直拉法单晶炉热场结构，其特征在于，所述电极外侧由内至外依次罩设有电极绝缘护套和电极护套。