[实用新型]硅晶片碱腐蚀废液的回收处理系统

权利要求书

1.一种硅晶片碱腐蚀废液的回收处理系统，其特征在于，所述系统包括：

固液分离装置(11)，用于对硅晶片的碱腐蚀废液进行固液分离从而得到澄清废液和固体悬浮物；

固体储存槽(12)，其通过管线与固液分离装置(11)连接，用于接受分离出来的固体悬浮物；

电解槽，其分为中间室(13)、阴极室(14)和阳极室(15)，其中，中间室(13)通过管线与固液分离装置(11)连接，用于接收从固液分离装置(11)分离出的废液，阴极室(14)中加入稀氢氧化钠溶液作为电解液，阳极室(15)中加入HF溶液；中间室(13)与阴极室(14)用阳离子交换膜(16)隔开，中间室(13)与阳极室(15)用阴离子交换膜(18)隔开；

后处理装置，其包括：

与阳极室(15)对应的带有溢流口的储存槽(110)，用于接收在阳极室(15)中产生的含六氟硅酸的氢氟酸溶液，所述储存槽(110)与阳极室(15)通过循环管线相连接，用于使溶液在储存槽(110)与阳极室(15)之间循环，保持储存槽(110)与阳极室(15)中的氢氟酸溶液浓度平衡，从而达到氢氟酸的循环再生；

蒸馏装置(111)，其通过管线连接至储存槽(110)的溢流口，从而储存槽(110)中的液体会溢流到蒸馏装置(111)中；和

冷凝装置(112)，其通过管线与蒸馏装置(111)相连，用于导入蒸馏装置(111)中产生的氟化氢蒸汽并冷凝，其通过管线与储存槽(110)连接，用于将冷凝后的氟化氢导入储存槽(110)。

2.根据权利要求1所述的回收处理系统，其特征在于，所述蒸馏装置(111)通过管线与固体储存槽(12)相连接，以将在蒸馏装置(111)中产生的固体二氧化硅通过分离后导入固体储存槽(12)。

3.根据权利要求1所述的回收处理系统，其特征在于，后处理装置进一步包括氢气罐(19)和氧气罐(17)，分别用于导入阴极室(14)和阳极室(15)产生的氢气和氧气。

4.一种硅晶片碱腐蚀废液的回收处理系统，其特征在于，所述系统包括：

固液分离装置(21)，其用于对硅晶片的碱腐蚀废液进行固液分离从而得到澄清废液和固体悬浮物；

固体储存槽(22)，其通过管线与固液分离装置(21)连接，用于接受分离出来的固体悬浮物；

电解槽，其分为阴极室(24)和阳极室(25)，其中，阴极室(24)通过管线与固液分离装置(21)连接，用于接收从固液分离装置(21)分离出的废液，阳极室(25)中加入硫酸溶液；阴极室(24)和阳极室(25)用阴离子交换膜(26)隔开；

其中，阳极室(25)通过管线与固体储存槽(22)连接，使阳极室(25)中产生的固体偏硅酸通过分离后导入固体储存槽(22)。

5.根据权利要求4所述的回收处理系统，其特征在于，后处理装置进一步包括氧气罐(27)和氢气罐(28)，分别用于导入阳极室(25)和阴极室(24)产生的氧气和氢气。