[实用新型]一种换热套

说明书

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积领域，特别是涉及一种用于化学气相沉积的换热套。

背景技术

化学气相沉积是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。化学气相沉积法广泛应用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。

在化学沉积过程中往往伴随着剧烈的吸热过程或者放热过程，因此需要在沉积底表面四周设置热交换装置用于加热或降温。由于所用热交换装置多为空心套状，所以又称为换热套。

换热套的热交换回路是指换热套内的热载体以一定的路线流动并在系统中形成循环的路径。常见换热套中的热交换回路通常为单导程螺旋线型式，即在换热套的腔体内增设螺旋型限流板，用以延长热载体的运行路线；工作时，热载体从换热套的一端进入，另一端流出，从而导致换热套的两端温差大，换热套圆周向的温度分布不均，致使沉积底表面热交换效果不一致，使得沉积底表面热场分布不均匀，进而导致气相沉积反应不能均匀进行。

因此，如何改进换热套以降低工作过程中换热套两端的温差，使换热套圆周向的温度分布均匀，从而使沉积底表面热场分布均匀，气相沉积反应能够均匀进行，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种换热套，该换热套在工作时可以降低两端的温差，使换热套圆周向温度分布均匀，从而保证沉积底表面热场分布均匀，气相沉积反应可以均匀进行。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种换热套，包括外壳和内壳形成的套管以及设置在所述套管两端的上端盖和下端盖，所述套管的夹层内设有至少一个限流板和至少一个隔板；所述隔板将所述夹层隔开，所述限流板的一端与所述下端盖连接，另一端与所述上端盖保持预定的距离；所述限流板和所述隔板将所述夹层分隔为两个连通的导程，所述下端盖上设有位于所述限流板两侧的进口和出口。

优选地，所述限流板和所述隔板分别设置在所述夹层的直径两端。

优选地，所述换热套具有多个限流板和对应的多个隔板，所述隔板沿所述套管的周向均匀设置在其夹层内，并将所述夹层分为多个腔室，所述限流板将所述腔室分隔为两个连通的导程，每个腔室对应的下端盖上分别设有位于所述限流板两侧的进口和出口。

优选地，所述隔板为直线型隔板，所述限流板为直线型限流板。

优选地，所述限流板、所述隔板与所述内壳焊接固定。

优选地，所述外壳的硬度小于所述限流板和所述隔板的硬度。

优选地，所述外壳内壁设有与所述限流板、所述隔板配合的凹槽。

优选地，所述外壳与所述限流板、所述隔板过盈配合。

优选地，所述换热套内的热载体为有机油类。

相对上述背景技术，本实用新型所提供的换热套包括外壳和内壳形成的套管以及设置在所述套管两端的上端盖和下端盖，所述套管的夹层内设有至少一个限流板和至少一个隔板；所述隔板将所述夹层隔开，所述限流板的一端与所述下端盖连接，另一端与所述上端盖保持预定的距离；所述限流板和所述隔板将所述夹层分隔为两个连通的导程，所述下端盖上设有位于所述限流板两侧的进口和出口。本实用新型所提供的换热套通过隔板和限流板的设置，将外壳和内壳形成的套管的夹层分为两个连通的导程，工作时，热载体从下端盖的进口进入换热套,沿一个导程到达换热套的上端时再沿另一个导程返回从下端盖的出口排出，两个导程相互并行，与现有技术中的单导程相比，可以降低换热套两端的温差，使化学气相沉积装置的沉积底表面热场均匀，从而使气相沉积反应能够均匀进行。

在一种优选的实施方式中，本实用新型所提供的换热套具有多个限流板和多个隔板，所述隔板沿所述换热套的周向均匀布置并将换热套的夹层分隔为多个腔室，每个腔室被限流板分隔为两个导程，相当于多个双导程并联设置，可以确保热载体充分循环换热，进一步降低换热套两端的温差，确保沉积底表面热场分布均匀，保证气相沉积反应均匀进行。

在另一种优选的实施方式中，所述限流板和所述隔板均为直线型，可以充分利用现有机械加工工艺优势，保证各腔室以及各导程之间的密封性，避免热载体泄漏，确保沉积底表面热场分布均匀。

附图说明

图1为本实用新型所提供换热套一种具体实施方式的正视图；

图2为图1所示换热套A-A方向示图；

图3为图2所示换热套沿B-B方向的展开示意图。

具体实施方式