[实用新型]多自由度可替换型电极机构

说明书

技术领域

本实用新型属于气体激光器技术领域，具体涉及气体激光器的放电腔，特别是气体激光器放电腔的电极机构。

背景技术

放电腔是气体放电激光光源的核心关键部件。放电腔一般都包含一对放电电极，加载电压后产生等离子体辐射出激光。放电腔的放电性能优劣直接影响到激光特性；而放电电极的材料、加工及装配精度，预电离方式等是影响放电性能的重要因素。

在放电腔的设计加工过程完成后，电极的材料、电极面型加工精度、预电离方式等都已经确定完毕，所以怎样将阴阳电极对准装配是确保优良放电性能的关键步骤。现有的装配方式要么不能多方位调整确保电极的装配精度，要么每次都需要开腔调整，额外增加了开腔时间和开腔后气体钝化时间。

另外，放电腔每次放电都会消耗微量的电极材料，而且阳极的消耗量约是阴极的几倍。达到一定放电脉冲数后，需要开腔对放电电极进行处理或者更换，这也会增加开腔时间和开腔后气体钝化时间，相应的缩短了放电腔的使用寿命。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型所要解决的技术问题是现有的气体激光器放电腔的电极机构不易更换和调节，从而影响放电腔的使用寿命的问题。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种电极机构，用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极，该电极机构包括传动机构和安装在该传动机构上的多个电极，该传动机构用于使该多个电极的每一个移动到所述电极工作位置。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述传动机构为两个，所述多个电极中的每一个的两端分别安装于该两个传动机构上。

根据本实用新型的一种具体实施方式，还包括一个调节机构，该调节机构位于所述电极工作位置的下方，用于调节处于电极工作位置的电极在垂直方向的位置和倾斜角度。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述传动机构为履带式结构，其包括主动轮、从动轮和围绕所述主动轮和从动轮的履带，所述多个电极安装于所述履带上。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述主动轮由一个电机驱动。

根据本实用新型的一种具体实施方式，还包括对驱动轮和从动轮施加一个预施力的机构，以使驱动轮和从动轮具有相互背离的倾向。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述从动轮的轴向两侧向外各伸出一个凸部，并在每个凸部的靠近驱动轮的一侧固定一个弹簧，并使该弹簧预压缩，以使其对所述凸部产生一个向着远离驱动轮的方向的推力。

根据本实用新型的一种具体实施方式，在所述传动机构上还安装有托盘，所述电极通过该托盘安装在所述履带上。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述托盘包括用于与所述电极固定连接的电极连接接口，该电极连接接口通过多个弹簧组与该托盘相连。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述传动机构具有两个，分别位于两个传动机构上的托盘的安装位置相互对应，以使处于对应位置的两个所述托盘共同支撑多个电极中的每一个。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述托盘的底部设置有连接接口，该连接接口用于与固定于托盘下方的调节机构相抵接，所述调节机构用于调节处于电极工作位置的电极在垂直方向的位置和倾斜角度。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述连接接口为半圆柱形槽，所述调节机构的顶部呈半球形。

根据本实用新型的一种具体实施方式，每个托盘的底部设置两个连接接口，所述调节机构为四个，所述四个调节机构与位于电极工作位置的两个托盘的连接接口相抵接，且使得四个连接接口分别对应电极的四个角。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述调节机构包括电机、连接器、螺母和丝杠，所述螺母和丝杠组成滚珠丝杠系统，所述连接器的一端与所述电机相连接，另一端与所述螺母固定。

根据本实用新型的一种具体实施方式，所述连接器上开有直径大于丝杠的直径的导孔，使丝杠可以进入连接器内部。

(三)有益效果

本实用新型电极机构传动机构和调节机构相互配合，实现放电电极多个自由度的运动，从而达到不打开放电腔就能调整电极的位置和角度的效果，确保气体激光器的放电腔具有优良的放电性能。

另外，本实用新型的电极机构设置有多个电极，通过传动机构，可以在不打开放电腔的前提下实时更换备用电极，延长了放电腔的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的气体激光器放电腔的电极机构的示意图；

图2是本实用新型的气体激光器放电腔的电极机构的调节机构的示意图；