[实用新型]一种直拉单晶硅炉炉底排气装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种直拉单晶硅炉炉底排气装置，属于单晶硅直拉技术领域。

背景技术

在直拉单晶硅生产工艺中，需要向直拉单晶硅炉中通入氩气进行冷却并带走拉单晶过程中产生的废气。在直拉单晶硅炉排气口的位置，由于温度较低，会有大量杂质冷凝，时间长了会堵塞排气口，严重影响拉晶的速度和质量。因此需要经常拆卸清洗排气装置。原来的排气装置采取的结构是导气管一端设计一小台阶，与圆柱形排气弯管相连接，而原排气装置拆卸后，由于结构设计原因其很难恢复到原来的状态，容易产生尾气泄漏，导致尾气进入保温层，迅速损坏保温层，使保温效果变差，影响单晶硅的生产质量，并增加了维修成本。

发明内容

针对现有技术中存在的上述缺陷，本实用新型提供了一种高度可调节、安装方便的炉底排气装置。

本实用新型所采用的技术方案是：一种直拉单晶硅炉炉底排气装置，包括一端与炉体连接的排气弯管和连接在所述排气弯管另一端的导气直管，其特殊之处是，所述排气弯管与导气直管连接的一端的管孔为多边形管孔，所述导气直管与排气弯管连接的一端通过螺纹连接有一与所述多边形管孔相适配的多边形螺母，所述多边形螺母上下可动地设置在所述排气弯管的多边形管孔里。

本实用新型中，导气直管通过多边形螺母与排气弯管连接，且其由于与多边形螺母连接，因此可随多边形螺母上下移动。安装本实用新型时，由于导气直管可以上下移动，并且导气直管与多边形螺母之间可以通过螺纹的旋进深度进行调节，因此安装时更方便，可方便地调节排气管道的高度。

本实用新型中的多边形管孔和多边形螺母可以是方形管孔和方形螺母，也可以是其他的多边形结构，考虑到结构设计的简单及可靠性，所述排气弯管上的多边形管孔为方形管孔，所述多边形螺母为方形螺母。

为了保证螺母与排气弯管之间的密封性，所述方形螺母的下端设有凸缘，所述排气弯管上的方形管孔的下端口设有与所述凸缘相配合的密封槽。

本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，其通过改变排气弯管和导气直管的连接结构，使得导气直管可以上下移动，安装时能自动调节其高度，安装更方便，避免了因安装不到位导致的密封不严的问题，很好地解决了维修时排气装置难以恢复原位的技术难题。同时，本实用新型的结构能有效对排气装置在使用过程中因热胀冷缩形成的位移间隙进行自动调整，保证了装置的密封性。

附图说明

图1是具体实施方式中本实用新型与炉体装配时的结构示意图；

图2是图1的俯视图；

图3是图1中的排气弯管的主视图；

图4是图3的俯视剖视图；

图5是图1中的方形螺母的主视图；

图6是图4的俯视图

图7是图1中的排气弯管与导气直管连接的放大结构示意图；

图中，1、炉体，2、排气弯管，3、螺母，4、导气直管，5、管孔，6、密封槽，7、凸缘。

具体实施方式

下面通过非限定性的实施例并结合附图对本实用新型作进一步的说明：

如附图1-2所示，在直拉单晶硅炉炉体1周围设置有四套炉底排气装置，每套炉底排气装置包括排气弯管2、螺母3、导气直管4。排气弯管2为直角弯管，其一端与直拉单晶硅炉的炉体1连接并与其内部相通，其另一端的管孔5为方形管孔。螺母3为方形螺母。导气直管4的上端部设有外螺纹，该端通过所述外螺纹与螺母3连接。螺母3装配在排气弯管2的方形管孔内并可上下移动。

为了保证螺母3与排气弯管2之间的密封性，本实施例中在方形螺母3的下端设有凸缘7，在排气弯管2上的方形管孔5的下端口设有与所述凸缘7相配合的密封槽6。排气装置安装后，螺母3与排气弯管2之间通过凸缘7和密封槽6可形成良好的密封。

上述实施例仅用作对本实用新型的说明，本实施例中的螺母3还可以是其他的多边形螺母，如：六边形螺母或五边形螺母等，当然，与螺母3配合的排气弯管2上的管孔5也应是与之相适应的多边形结构形式。此外，螺母3与排气弯管2的管孔之间的密封结构也可采用多台阶梯形密封结构形式。

本实施例中的其他部分采用现有技术，在此不再赘述。