[实用新型]一种二极管硅叠切割专用工装有效
| 申请号: | 201220373919.1 | 申请日: | 2012-07-31 |
| 公开(公告)号: | CN202716390U | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
| 发明(设计)人: | 陈许平;戴小平 | 申请(专利权)人: | 南通皋鑫电子股份有限公司 |
| 主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04 |
| 代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 滑春生 |
| 地址: | 226500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 二极管 切割 专用 工装 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种二极管硅叠切割专用工装,特别涉及一种切割准确的二极管硅叠切割专用工装。
背景技术
二极管种类有很多,按照所用的半导体材料,可分为锗二极管(Ge管)和硅二极管(Si管)。硅二极管的反向电流较小,耐高温,使用较为广泛。
在生产硅二极管的过程中,需要将硅叠切割成硅粒,其工艺流程为:首先将硅叠水平置于硅叠接着工装上,通过石蜡接着,将硅叠与硅叠接着工装的玻璃底板固定,实现一次接着;然后将硅叠接着工装置于硅片切断机上,进行一次切割,将硅叠切割成若干排硅片;一次切割后,融化石蜡,将数排硅片为一组,沿穿过一次切割线的垂直平面上翻转硅片90度,并沿水平面旋转90度后,再将硅片与硅叠接着工装二次接着固定;最后再次将硅叠接着工装置于硅片切断机上二次切割制得硅粒。该种工艺方法存在一定的缺点:无法确保硅片准确旋转90度,切割后的硅粒端面与侧面不垂直,影响后续加工及产品质量;在采用该方法制作复印机、打印机用的管芯时,其为3kv高压二极管,管芯较短,硅叠较薄,在垂直平面翻转90度后虽然与硅叠接着工装接着,但仍易倾倒平躺,无法顺利切割,加工效率受到很大的影响。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种切割准确的二极管硅叠切割专用工装。
为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案为:一种二极管硅叠切割专用工装,其特征在于:包括一矩形定位框,所述定位框中两对应的侧边内壁上对称开有三对垂直方向延伸的槽,具体为两对挡边定位槽和一对基准槽,所述两对挡边定位槽分别设在所述侧边内壁的端部,一对基准槽设在所述侧边内壁的中心线上;还包括一基准玻璃板,所述基准玻璃板的两端可嵌入一对基准槽内。
本实用新型的优点在于:硅叠二次切割时,直接进行硅片的水平旋转,并在水平旋转时利用专用工装定位,确保硅片与硅叠二次接着时相对一次接着准确旋转90度,提高产品质量。
附图说明
图1为硅叠接着工装主视图。
图2为硅叠接着工装俯视图。
图3为本实用新型中专用工装中定位框主视图。
图4为本实用新型中专用工装中定位框俯视图。
图5为本实用新型中硅片的一次切割面紧贴基准玻璃板的结构示意图。
具体实施方式
图1、2示出了硅叠接着工装结构,其为二极管制造企业生产硅粒的常规工艺治具,包括铝模座1、玻璃底板2、玻璃挡板3和锁紧螺栓4。
铝模座1为矩形,其上表面放置一玻璃底板2,两侧边开有通槽,玻璃挡板3的下端嵌入通槽内,并通过侧壁的锁紧螺栓4锁紧固定。
如图3、4所示,本实用新型的专用工装包括一矩形定位框5,定位框5中两对应的侧边内壁上对称开有三对沿垂直方向延伸的槽,具体为两对挡边定位槽a和一对基准槽b,两对挡边定位槽a分别设在该侧边内壁的端部,一对基准槽b设在该侧边内壁的中心线上;还包括一基准玻璃板6(图4、5中未示出),基准玻璃板6的两端可嵌入一对基准槽b内。
使用时,首先将硅片整体沿水平面方向相对硅叠接着工装旋转约90°,将定位框5放置在硅叠接着工装上,定位框5的两队挡边定位槽a分别套在两侧玻璃挡板3的端部,从硅片中部将各排硅片分成左右两组,将基准玻璃板6的两端插入基准槽b,再将两组硅片向中间合拢,使得最靠近基准玻璃板6的硅片一次切割面紧贴基准玻璃板6的两侧面,参见图5。由于基准玻璃板6与玻璃挡板3平行,硅片的一次切割面紧贴基准玻璃板6,从而确保了硅片准确旋转90°。
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