[实用新型]散斑相关和散斑干涉相结合的三维变形测量系统有效
申请号: | 201220372299.X | 申请日: | 2012-07-30 |
公开(公告)号: | CN202748011U | 公开(公告)日: | 2013-02-20 |
发明(设计)人: | 孙平;孙明勇 | 申请(专利权)人: | 山东师范大学 |
主分类号: | G01B11/16 | 分类号: | G01B11/16;G01B11/02 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 张勇 |
地址: | 250014 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 相关 干涉 相结合 三维 变形 测量 系统 | ||
【权利要求书】:
1.一种散斑相关和散斑干涉相结合的三维变形测量系统,其特征是,它包括激光器,激光器发出的激光送入扩束镜;扩束镜后方设有与入射光线成45°角倾斜放置的半透半反镜,半透半反镜的反射光照射到被测物,透射光则照射到参考物面,参考物面与PZT相移器连接构成参考光路;被测物的散斑图像经过半透半反镜由成像透镜成像在CCD摄像机上,利用被测物变形前后的两幅散斑图,计算出面内位移的二个分量;在参考光路工作时被测物表面的散斑图像与参考物面的散斑图像形成干涉散斑图像,并由成像透镜成像在CCD摄像机上,测量物体离面位移分量。
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