[实用新型]曝光机覆铜箔板对位系统有效
申请号: | 201220365566.0 | 申请日: | 2012-07-26 |
公开(公告)号: | CN202794845U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 李炬;王金鹏;肖丽;李松凌;王安建;佘瑞峰 | 申请(专利权)人: | 四川聚能核技术工程有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00;H05K3/06 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 李世喆 |
地址: | 621700 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 铜箔 对位 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及印制电路板领域,具体涉及一种曝光机覆铜箔板对位系统。
背景技术
现有的用于电荷耦合元件(CCD)自动对位曝光机晒架的覆铜箔板对位系统,是通过CCD监测上下底片靶标的位置,利用覆铜箔板对位系统带动膨胀钉在两个方向上的移动,来实现覆铜箔板与上下底片的准确对位。
现有曝光机晒架的覆铜箔板对位,是通过两个对位系统带动一个膨胀钉的移动,即共四套对位系统带动两个膨胀钉的运动来实现覆铜箔板的自动对位,结构较为复杂。
实用新型内容
本实用新型提供了一种曝光机覆铜箔板对位系统,能够简化结构。
本实用新型提供了一种曝光机覆铜箔板对位系统,包括:
至少两个对位单元、至少两个推动气缸、移动轴和固定件;
至少两个所述对位单元分别设置在所述移动轴的两侧,控制所述移动轴沿水平X和Y方向移动;
每个所述推动气缸与一个所述对位单元相配合,所述推动气缸与相配合的所述对位单元作用在所述移动轴上的力是相反的;
所述固定件安装在所述移动轴上。
在本实用新型各实施例中,优选地,进一步包括:长方形的移动板,其上设置三个移动轴,一个所述移动轴控制所述移动板沿所述移动板的长边方向移动,另两个所述移动轴控制所述移动板沿短边方向移动;
每个所述移动轴安装有两个滚动轴承。
在本实用新型各实施例中,优选地,具有三个所述对位单元和三个所述推动气缸,其中两个所述对位单元设置在所述移动板长边的同一侧,控制所述移动板沿短边方向移动;另一所述对位单元设置在所述移动板短边的一侧,控制所述移动板沿长边方向移动;三个所述推动气缸设置在与相对应的对位单元相反的一侧。
在本实用新型各实施例中,优选地,所述对位单元包括电机、螺母、螺杆和滑块,所述电机为所述螺母提供动力,所述螺母与所述螺杆连接,所述螺杆与所述滑块连接。
在本实用新型各实施例中,优选地,所述电机为步进电机,所述步进电机的步距角为1.8°。
在本实用新型各实施例中,优选地,所述固定件为销钉安装板。
通过本实用新型各实施例提供的曝光机覆铜箔板对位系统,能够带来以下有益效果:
通过在移动轴的一侧安装对位单元,同时在另一侧安装与对位单元相配合的推动气缸,能够通过对为单元和推动气缸使得覆铜箔板在水平的X和Y方向移动,简化结构,调整灵活;
通过包括电机、螺母、螺杆和滑块的对位单元,能够保证对位的精度和对位的速度;
通过采用步进电机及对位算法的控制,能够更进一步的提高对位的精度。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,以下将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,以下描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员而言,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图所示实施例得到其它的实施例及其附图。
图1为本实用新型曝光机覆铜箔板对位系统的实施例的结构示意图;
图2为本实用新型曝光机覆铜箔板对位系统的实施例的结构示意图;
图3为本实用新型曝光机覆铜箔板对位系统的实施例的结构示意图。
具体实施方式
以下将结合附图对本实用新型各实施例的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施例,都属于本实用新型所保护的范围。
本实用新型提供一种曝光机覆铜板对位系统,包括:至少两个对位单元、至少两个推动气缸、移动轴和固定件;
至少两个所述对位单元分别设置在所述移动轴的两侧,控制所述移动轴沿水平X和Y方向移动;
每个所述推动气缸与一个所述对位单元相配合,所述推动气缸与相配合的所述对位单元作用在所述移动轴上的力是相反的;
所述固定件安装在所述移动轴上。
所述对位单元设置在移动轴的一侧,其中移动轴与移动板连接,对位单元推动移动轴沿水平X和Y方向移动。移动轴的另一侧设置有推动气缸,推力方向与对位单元相反。每个对位单元与推动气缸一一对应,对位单元与推动气缸作用的移动轴可是同一个移动轴上的两个轴承,也可以分别推动两个不同的移动轴。应理解,X方向可以为水平方向内的垂直坐标轴的X轴方向,Y方向可以为水平方向内与所述X轴方向相垂直的Y轴方向。
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