[实用新型]集成芯片引线框架环岛镀装置有效
申请号: | 201220363209.0 | 申请日: | 2012-07-26 |
公开(公告)号: | CN202695392U | 公开(公告)日: | 2013-01-23 |
发明(设计)人: | 陈重阳;褚华波;徐成 | 申请(专利权)人: | 浙江捷华电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/495;C25D5/02;C25D5/08;C25D7/12 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 林宝堂 |
地址: | 315464 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 集成 芯片 引线 框架 环岛 装置 | ||
1. 一种集成芯片引线框架环岛镀装置,包括支架和传动装置,支架上设有镀具,其特征是,镀具由镀轮和胶粒组成,镀轮为圆环形结构,其外周面有两道凸出的环形靠肩,两道环形靠肩之间的环面上均布有若干个内外通透的胶粒座孔,胶粒座孔的上端面有方形沉孔,胶粒的底部与两道环形靠肩接近的部位对称设有两个胶粒插脚通孔,胶粒座孔中配有胶粒,胶粒的中间有上下通透的镀孔,镀孔为方形的环形槽结构,环形槽结构的内部有岛,岛与环形槽结构的外部通过若干道桥相连接,桥的底部有桥孔,桥孔朝向环形槽结构的上端面,胶粒的下底部有对称设置的两根插脚,插脚与所述胶粒插脚通孔配合;渡轮的内部设有喷头,喷头的喷口对着镀轮圆环形结构的内表面。
2.根据权利要求1所述的集成芯片引线框架环岛镀装置,其特征是,所述环形槽结构为正方形结构,胶粒的外周为与环形槽结构适配的正方形结构。
3.根据权利要求2所述的集成芯片引线框架环岛镀装置,其特征是,所述桥设在正方形各边的中点部位。
4. 根据权利要求1或2或3所述的集成芯片引线框架环岛镀装置,其特征是,传动装置包括芯片引线传动轮,芯片引线传动轮的两端部设有挡边,挡边之间的距离等于或略大于镀轮的宽度。
5.根据权利要求4所述的集成芯片引线框架环岛镀装置,其特征是,所述胶粒插脚的长度大于所述圆环形结构的断面厚度的两倍。
6.根据权利要求1或2或3所述的集成芯片引线框架环岛镀装置,其特征是,喷头为半个圆柱形的结构,其内部为空腔,其端面设有连接输送镀液的输送泵的管接头,其外圆面设有喷口;喷头通过支轴与支架固定连接。
7.根据权利要求6所述的集成芯片引线框架环岛镀装置,其特征是,喷口由喷头外圆面沿轴向设置的相邻的条板之间的缝隙构成。
8.根据权利要求7所述的集成芯片引线框架环岛镀装置,其特征是,胶粒座孔设有48个,各相邻的胶粒座孔的中心位置度公差值为±2微米。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造