[实用新型]真空工具镀膜的阴极电弧装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜行业，特别是涉及一种真空工具镀膜的阴极电弧装置。

背景技术

目前市场真空行业中真空阴极电弧靶的种类繁多，结构复杂，一般真空阴极电弧靶装置采用一个电弧和一个阴极电源，且装置多采用气动引弧或电磁引弧，靶材磁场约束采用永磁体，永磁体长时间使用会造成磁性减弱以及失磁，造成辉光减弱不能保证靶材的均匀刻蚀。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种真空工具镀膜的阴极电弧装置，其结构简单，且保证靶材的均匀刻蚀性。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：一种真空工具镀膜的阴极电弧装置，其特征在于，其包括靶材、辅助阳极、支撑柱、法兰板、第一密封O型圈、绝缘板、第二密封O型圈、冷水座、螺钉绝缘套、第一内六角螺钉、接线座、螺母、第二内六角螺钉、水嘴接头、第一十字盘头螺钉、电磁线圈、电磁线圈骨架、防护罩、第二十字盘头螺钉、气动引弧机构、引弧极，靶材与冷水座连接，辅助阳极通过支撑柱固定在法兰板的一面上，第一密封O型圈位于法兰板的上方，绝缘板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之间，螺钉绝缘套套在第一内六角螺钉上，冷水座通过第一内六角螺钉固定在法兰板的另一面上，接线座的一端位于冷水座上，螺母与第二内六角螺钉连接，水嘴接头位于电磁线圈的一侧，电磁线圈通过第一十字盘头螺钉与冷水座固定，电磁线圈骨架位于电磁线圈的上方，防护罩通过第二十字盘头螺钉与电磁线圈骨架固定，引弧极压紧在气动引弧机构上，引弧极位于靶材的下方。

优选地，所述绝缘板的直径大于第一密封O型圈的直径和第二密封O型圈的直径。

本实用新型的积极进步效果在于：本实用新型的结构简单，维护方便，而且膜层致密性好，耐磨性提高，且保证靶材的均匀刻蚀性。

附图说明

图1为本实用新型真空工具镀膜的阴极电弧装置的分解示意图。

图2为本实用新型真空工具镀膜的阴极电弧装置的组装示意图。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型较佳实施例，以详细说明本实用新型的技术方案。

如图1和图2所示，本实用新型真空工具镀膜的阴极电弧装置包括靶材1、辅助阳极2、支撑柱3、法兰板4、第一密封O型圈5、绝缘板6、第二密封O型圈7、冷水座8、螺钉绝缘套9、第一内六角螺钉10、接线座11、螺母12、第二内六角螺钉13、水嘴接头14、第一十字盘头螺钉15、电磁线圈16、电磁线圈骨架17、防护罩18、第二十字盘头螺钉19、气动引弧机构20、引弧极21，靶材1与冷水座8连接，辅助阳极2通过支撑柱3固定在法兰板4的一面上，第一密封O型圈5位于法兰板4的上方，绝缘板6位于第一密封O型圈5和第二密封O型圈7之间，螺钉绝缘套9套在第一内六角螺钉10上，冷水座8通过第一内六角螺钉10固定在法兰板4的另一面上，接线座11的一端位于冷水座8上，螺母12与第二内六角螺钉13连接，水嘴接头14位于电磁线圈16的一侧，电磁线圈16通过第一十字盘头螺钉15与冷水座8固定，电磁线圈骨架17位于电磁线圈16的上方，防护罩18通过第二十字盘头螺钉19与电磁线圈骨架17固定，引弧极21压紧在气动引弧机构20上，引弧极21位于靶材1的下方。绝缘板6的直径大于第一密封O型圈5的直径和第二密封O型圈7的直径。

靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，靶材与冷水座连接，便于拆装更换；辅助阳极为了改善被镀制件表面上的电流分布而使用的附加阳极，辅助阳极与靶材绝缘，与设备壳体绝缘。冷水座与法兰板固定拧紧，密封处无气漏。支撑柱支撑辅助阳极，安装后保证辅助阳极与靶材的间隙与绝缘性。冷水座用于冷却靶材温度及密封圈温度。电流通过接线座和冷水座后通到靶材上面。采用电磁线圈产生的磁场更好的稳定电弧放电，保证靶材的均匀刻蚀。调整引弧极到靶面间距，引弧时引弧极与靶面接触良好。靶材非溅射面与冷水座连接前可以先放一层石墨纸，连接压紧，要求接触面贴合，目的是对靶材的冷却效果更好。