[实用新型]一种原子力显微镜探针悬臂振动装置有效
| 申请号： | 201220341620.8 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN202676735U | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 邵志峰;张金金;丹尼尔·恰科夫;孙洁林;沈轶;胡钧 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 原子 显微镜 探针 悬臂 振动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，包括：
有机玻璃基底；
第一沟槽和第二沟槽，分别设置于所述有机玻璃基底上；
探针，设置于所述第一沟槽；
导电玻璃，设置于所述第二沟槽。
2.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，所述第一沟槽和第二沟槽为长方形沟槽。
3.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，所述导电玻璃为铟化镓玻璃。
4.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，所述探针通过铜片和螺丝固定。
5.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，所述第一沟槽中设置有导电片与所述探针悬臂背面金属层电气接触。
6.根据权利要求5所述的原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，所述导电片过漆包铜线与第一铜电极电气连接。
7.根据权利要求6所述的原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，所述导电玻璃的导电层通过漆包铜线与第二铜电极电气连接。
8.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针悬臂振动装置，其特征在于，所述有机玻璃基底上设置有不锈钢稳定装置。
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