[实用新型]一种耐低温超纯水循环净化终端装置

权利要求书

1.一种耐低温超纯水循环净化终端装置，其特征在于，包括水箱、供水泵和净化装置，所述的水箱包括外置水箱和内置水箱，所述的外置水箱设有外部进水口、循环进水口和出水口，所述的内置水箱设有循环入口和循环出口，外置水箱的外部进水口连接至外部水源，出水口连接至供水泵的输入口，供水泵的输出口连接至净化装置的输入口，净化装置的输出口连接至用水点的输入口，用水点的输出口连接至内置水箱的循环入口，内置水箱的循环出口分别连接至外置水箱的循环进水口和供水泵的输入口。 

2.根据权利要求1所述的一种耐低温超纯水循环净化终端装置，其特征在于，所述的净化装置包括纯化柱、UV杀菌器、树脂捕捉器、脱气装置和微孔膜滤器，所述的纯化柱、UV杀菌器、树脂捕捉器、脱气装置和微孔膜滤器依次串联，纯化柱的输入口连接至供水泵的输出口，微孔膜滤器的输出口连接至用水点的输入口。 

3.根据权利要求2所述的一种耐低温超纯水循环净化终端装置，其特征在于，所述的纯化柱包括粗滤纯化柱和精滤纯化柱，所述的粗滤纯化柱和精滤纯化柱依次串联。 

4.根据权利要求2所述的一种耐低温超纯水循环净化终端装置，其特征在于，所述的脱气装置包括脱气膜和水环真空泵，所述的脱气膜在侧壁上分别设有脱气进水口和脱气出水口，底部设有抽气口，脱气进水口连接至树脂捕捉器的输出口，脱气出水口连接至微孔膜滤器的输入口，抽气口连接至水环真空泵的输入口以在脱气膜内形成负压。 

5.根据权利要求4所述的一种耐低温超纯水循环净化终端装置，其特征 在于，所述的脱气膜的顶端设有加压进气口，所述的加压进气口连接至外部压缩空气源。 

6.根据权利要求4所述的一种耐低温超纯水循环净化终端装置，其特征在于，所述的水环真空泵的进水口连接至脱气膜的输出口以获得保证水环真空泵运行的水源。 

7.根据权利要求4所述的一种耐低温超纯水循环净化终端装置，其特征在于，所述的脱气膜包括两个相同且并联的脱气膜。