[实用新型]一种紫外线固化设备有效
| 申请号: | 201220330167.0 | 申请日: | 2012-07-06 |
| 公开(公告)号: | CN202649651U | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
| 发明(设计)人: | 史文森 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/1339 | 分类号: | G02F1/1339 |
| 代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 李娟 |
| 地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 紫外线 固化 设备 | ||
1.一种紫外线固化设备,包括由四个侧壁和一个顶壁形成的紫外线固化室,所述紫外线固化室与所述顶壁相对的一端开口,形成用于紫外线穿出的固化窗;所述紫外线固化室中设有若干紫外线发射单元,所述固化窗处设有掩膜板,所述掩膜板具有防护反射层;其特征在于,所述防护反射层与所述顶壁之间设有将紫外线反射至固化窗方向的紫外线反射装置。
2.根据权利要求1所述的紫外线固化设备,其特征在于,所述紫外线反射装置为所述紫外线发射单元与所述顶壁之间设有的反射镜,所述反射镜的反射面为为所述反射镜朝向所述固化窗的一面。
3.根据权利要求1所述的紫外线固化设备,其特征在于,所述紫外线反射层与所述顶壁具有一体式结构。
4.根据权利要求1-3任一项所述的紫外线固化设备,其特征在于,所述掩膜板设置的防护反射层为钼层。
5.根据权利要求1-3任一项所述的紫外线固化设备,其特征在于,所述掩膜板设置的防护反射层为汞层。
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