[实用新型]真空油扩散泵加热装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及油扩散泵技术领域，具体涉及一种真空油扩散泵加热装置。

背景技术

油扩散泵的基本结构包括泵体，泵体的底部一般为铁质的金属底板，在泵体内装有扩散泵油。使用时，扩散泵油要被加热到200℃以上才能正常工作。目前，油扩散泵大多采用电阻丝的电炉盘直接加热，即将电炉盘设置在扩散泵金属底板的下部，电炉大多采用手动开关控制。

这种传统的加热方式存在以下缺点：

1、电炉采用单一电阻丝加热，电阻丝在高温长期使用后容易发脆，容易烧断；如果在使用过程中出现电阻丝烧断，就会影响真空系统的正常工作，从而影响到生产效率和产品质量；

2、电炉采用单一电阻丝加热和手动开关控制，使电炉加热温度无法精确控制；扩散泵启动前期，加热功率低，使扩散泵的真空度不能及时有效地达到预定值。扩散泵达到一定真空度后又会出现加热功率过大，影响真空效果且浪费电能。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种可精确控制扩散泵电炉加热功率、能够实现随着扩散泵油温度的变化而增大或者减少电炉加热功率、可以提高扩散泵的工作效率和真空度的稳定性且节能的真空油扩散泵加热装置。

按照本实用新型提供的技术方案，所述真空油扩散泵加热装置，包括泵体，在泵体的下方设有电炉盘，在电炉盘内设有两段或者两段以上呈并联设置的电阻丝，每段电阻丝均受控于一个控制柜，电阻丝的一端通过导线连接在对应控制柜的正极，电阻丝的另一端通过导线连接在对应控制柜的负极；在泵体外设有温度数显仪，温度数显仪的测量探头伸入泵体内。

所述控制柜上设有电流表、电压表与功率调节旋钮。

本实用新型具有如下优点：

1、本实用新型采用并联的两段及以上电阻丝加热扩散泵油，刚启动时，所有电阻丝最大功率地同时加热，能在短时间内达到扩散泵油加热的许可温度，在短时间内达到要求的真空度，节能且缩短生产周期；

2、本实用新型采用并联的两段及以上电阻丝加热机械泵油，每段电阻丝通过控制柜分别独立控制。当扩散泵油达到工作温度时，可降低每段电阻丝的功率或关闭其中一段或多段电阻丝，节能，提高每段电阻丝的使用寿命，且可使扩散泵油温度不会过高，保证真空度的稳定性；

3、本实用新型采用并联的两段及以上电阻丝加热机械泵油，在使用过程中，如其中某段电阻丝烧断，可启动其他段电阻丝或加大其他段电阻丝的加热功率，不会影响真空系统的正常工作，减少因电阻丝烧断而停机的概率；

4、本实用新型安装有温度数显仪，可根据扩散泵油温度，来调节扩散泵电炉加热功率，从而实现扩散泵油温度的动态平衡，提高扩散泵的工作效率和稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型中控制柜的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

如图所示：该真空油扩散泵加热装置，包括泵体1，在泵体1的下方设有电炉盘2，在电炉盘2内设有两段或者两段以上呈并联设置的电阻丝3，每段电阻丝3均受控于一个控制柜4，电阻丝3的一端通过导线连接在对应控制柜4的正极，电阻丝3的另一端通过导线连接在对应控制柜4的负极；在泵体1外设有温度数显仪5，温度数显仪5的测量探头伸入泵体1内。

所述控制柜4上设有电流表6、电压表7与功率调节旋钮8。

本实用新型的工作原理是：

油扩散泵的泵体1内盛有扩散泵油，将本实用新型所提供的电炉盘放置于泵体底部的金属底板下部。两段或者两段以上的电阻丝3并联设置于电炉盘2内，每段电阻丝3与对应的控制柜4均通过导线连接。

使用时，通过操作控制柜4上的功率调节旋钮8，开启电炉，使电阻丝3通电加热。刚开始启动时，把每个控制柜4上的功率调节旋钮8打到最大，每段电阻丝3均以最大功率地同时加热扩散泵油，从而提高加热速度，使得在短时间内达到扩散泵油加热的许可温度，在短时间内达到要求的真空度。当扩散泵油达到工作温度时，降低每段电阻丝3的功率或关闭其中一段或两段电阻丝3，实现保温，实现扩散泵油的动态平衡，保证稳定的真空度。