[实用新型]板材镀膜设备

权利要求书

1.一种板材镀膜设备，其特征在于，包括： 

壳体，壳体内部设有容置空间； 

第一收放卷，设于壳体内用于绕制待镀膜金属板材并通过旋转释放金属板材； 

第二收放卷，设于壳体内用于接收已镀膜金属板材并旋转回收于收放卷上； 

靶材,设于金属板材运行路径的两侧用于对金属板材进行磁控溅射镀膜； 

壳体上对应于靶材的位置设置有舱门。 

2.如权利要求1所述的板材镀膜设备，其特征在于：在金属板材的运行路径上设有用于调节金属板材的张紧度的浮动辊，手动或自动控制浮动辊的位置实现对板料的纠偏；所述的壳体上设有传感器，通过传感器检测浮动辊的升降对收放卷的转速进行微调。 

3.如权利要求2所述的板材镀膜设备，其特征在于：第一收放卷和第二收放卷上各预装有一段金属板材，待镀膜板材两端分别和第一收放卷和第二收放卷上的预留板材连接，以实现对所有待镀膜板材的镀膜。 

4.如权利要求3所述的板材镀膜设备，其特征在于：所述的壳体内中部还设有用于减少壳体内无效空间的封闭舱,封闭舱两侧设有加热器。 

5.如权利要求4所述的板材镀膜设备，其特征在于：所述的壳体为立式壳体，所述的第一收放卷和第二收放卷设于壳体内部上方，所述的浮动辊设于壳体内部下方，所述的封闭舱设于金属板材由第一收放卷经浮动辊到第二收放卷形成的U形路径范围中，所述的靶材设于与封闭舱相对的两侧壳体内 壁上。 

6.如权利要求4所述的板材镀膜设备，其特征在于：所述的壳体为立式壳体，所述的第一收放卷和第二收放卷设于壳体内部下方，所述的第一收放卷和第二收放卷上方分别设置第一导向辊和第二导向辊，所述的浮动辊设于第一收放卷、第二收放卷、第一导向辊和第二导向辊之间的位置，所述的封闭舱设于金属板材由第一导向辊经浮动辊到第二导向辊形成的U形路径范围中，金属板材由第一收放卷经第一导向辊到浮动辊形成的U形路径范围中和金属板材由浮动辊经第一导向辊到第二收放卷形成的U形路径范围中分别设置一组靶材。 

7.如权利要求5、6中任一项所述的板材镀膜设备，其特征在于：所述的浮动辊设于一垂直的浮动辊支架上，浮动辊可相对于浮动辊支架垂直运动。