[实用新型]方便切割的单晶硅棒有效
申请号: | 201220321631.X | 申请日: | 2012-07-02 |
公开(公告)号: | CN202727136U | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 曹永杰;何干坤;曹永祥;王绍林;张良春;许龙光 | 申请(专利权)人: | 温州宏阳铜业有限公司 |
主分类号: | B28D7/00 | 分类号: | B28D7/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京中北知识产权代理有限公司 11253 | 代理人: | 程春生 |
地址: | 325400 浙江省温*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 方便 切割 单晶硅 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种单晶硅棒。
背景技术
在单晶硅棒线切割时,线网接触晶棒表面的时候由于力的作用容易来回摆动,这样一来切割出来的晶片在入刀口就会产生厚薄不均现象;另外刚刚入刀时线网必须拉出一定的线弓后才会具备很强的切割力,如果线网直接接触晶棒,在拉线弓的时候会导致晶片的一个角厚度偏薄。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种单晶硅棒,可以有效解决现有单晶硅棒在线切割过程中线网容易摆动,造成切割出来的晶片在入刀口处产生厚薄不均现象的问题。
为了解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:一种单晶硅棒,包括晶棒本体,晶棒本体顶部设有导向条,导向条设有两条,两条导向条平行设置在晶棒本体顶部两侧,导向条通过环氧树脂粘贴在晶棒本体上,导向条采用树脂制成。
晶棒本体底部固定连接在底座上,通过底座将晶棒本体固定在切割设备上。
晶棒本体底部通过环氧树脂粘贴在底座上。
本实用新型的有益效果:晶片入刀口厚薄均匀,入刀时线网线接触粘在晶棒上的导向条,等线网稳定后才会切割到晶棒,有效防止晶片入刀口厚薄不均问题,同时线网在切割导向条时线弓已经产生,也可以有效避免晶片的一个角厚度偏薄现象,提高晶片的质量。
附图说明
图1为本实用新型单晶硅棒的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示为本实用新型一种方便切割的单晶硅棒,包括晶棒本体1,晶棒本体1顶部设有导向条2,导向条2设有两条,两条导向条2平行设置在晶棒本体1顶部两侧,导向条2通过环氧树脂粘贴在晶棒本体1上,导向条2采用树脂制成。晶棒本体1底部固定连接在底座3上,晶棒本体1底部通过环氧树脂粘贴在底座3上.采用该单晶硅棒,在线切割过程中可以有效提高晶片的质量.
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