[实用新型]一种均流挡片

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能硅电池的生产设备，具体涉及一种用于扩散制结工序的均流挡片。

背景技术

太阳能每天都能无限供应，而且数量庞大。如果在大的电厂利用，就减少了温室效应，有些能源专家和环境保护的专家则认为，在满足人类今后能量需要方面，太阳能的热影响比任何其他替换品的热影响要小得多。作为一种不污染环境，又取之不尽的新能源，它无处不在。尤其是在电力供力方面，有专家认为太阳能发电最终将在电力供应中占20%。

太阳能电池是一种将光能直接转化为电能的器件，其基本原理是利用PN结的光生伏特效应将光能转化成电能。在太阳能电池中晶体硅太阳能电池占有绝大部分的份额。

目前，在晶体硅太阳能电池的生产过程中，用于制作PN结的扩散制结工序是关键工序之一。太阳能电池在不断追求高效率的同时，扩散也不断追求高方阻，而方块电阻均匀性是扩散高方阻追求的首要目标，方阻均匀性的好坏会严重影响太阳能电池的效率。现有的匀流板都是不可调节匀流气孔大小的，就无法改变扩散气氛场，从而降低了扩散方阻均匀度的可控性。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种设置在石英舟两端内部的均流挡片，其既可以提高扩散均匀性，又具有耐用性和牢固性。

技术方案：本实用新型所述的一种均流挡片，包括两片石英片，所述石英片之间用石英柱连接，所述石英片相互平行且相互之间交错设置，靠近石英舟外侧的所述石英片上开有排列规则的匀流气孔且设置有将该挡片挂附在石英舟一侧的石英挂钩。

进一步，所述石英片的厚度为4-6mm。

进一步，所述均流气孔的直径为4-6mm。

进一步，所述石英挂钩的形状为正方体立柱型或长方体立柱型。

进一步，所述石英片相互之间交错的角度为2^o～4^o。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：（1）本实用新型和现有匀流板相比，此匀流挡片放置于石英舟两端内部，具有耐用性；此匀流挡片设有石英挂钩，具有牢固性；此匀流挡片取代硅片，节约原材料，可降低成本；放置在石英舟炉尾处的匀流挡片可以阻挡磷掺杂源气流直接对硅片的吹扫，造成炉尾处的方阻过低；有匀流气孔的石英片可以促进磷源气氛在硅片与硅片之间的均匀分布,从而提高方块电阻的均匀性；此匀流挡片的面积较大，使工艺气体尽可能通过带有匀流小孔的挡片，使炉管内气体均匀；（2）本实用新型结构简单，便于制备，且具有良好的实用性，适于推广应用。 

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面对本实用新型技术方案进行详细说明，但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。

如图1所示，一种均流挡片，包括两片厚度为5mm石英片1，所述石英片1之间用石英柱2连接，所述石英片1相互平行且相互之间沿长度方向错开5°，靠近石英舟外侧的石英片上开有排列规则的直径为5m的匀流气孔3且设置有将该挡片挂附在石英舟一侧的形状为正方体立柱型的石英挂钩4，防止石英挡片在石英舟内部滑动，挤碎硅片。

如上所述，尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本实用新型，但其不得解释为对本实用新型自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本实用新型的精神和范围前提下，可对其在形式上和细节上作出各种变化。