[实用新型]探针卡

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种实验设备，且特别涉及一种用于探针台的探针卡。

背景技术

探针台是用在半导体领域对晶圆上的器件进行特性或故障分析而使用的精密机台。在集成电路的研发、生产制造、实效分析过程中，经常要量测内部的电参数，由于制程特征尺寸越来越低，没有办法用简单的万用表、示波器的表笔来探测信号。手动分析探针台能很好的帮助工程人员实现微小位置的电学参数测试。探针台系统通常由承载台、探针座、显微镜、测试机，以及其他辅助增强系统组成，一般配备数到通过探针实现芯片上每个PAD与测试机的稳定连接，由测试机判定晶圆上芯片的特性。

探针台可分为手动、半自动/全自动探针台。手动探针台主要用来进行失效分析，器件特性分析和工艺验证分析等解析和研发用途，适用于分析6寸/8寸/12寸晶圆、芯片，一般配备2～4颗探针座。

随着机台测试需求的越发频繁，探针卡的使用情况远远超于以往的利用率。由于探针较薄，因此移动比较困难，需要花费较多的时间。这给使用探针带来了诸多不便，也降低了工作的效率。

实用新型内容

为了克服已有技术中存在的探针卡较难移动的问题，本实用新型提供一种便于移动的探针卡。

为了实现上述目的，本实用新型提出一种探针卡，在所述探针卡的至少一端，设置一开关把手。

可选的，所述开关把手为可伸缩的开关把手。

可选的，所述开关把手为T字型。

可选的，在所述探针卡的两端均设置一所述开关把手。

可选的，在所述探针卡的至少一端设置一孔，所述开关把手的一端设置在所述孔中。

可选的，所述开关把手包括第一部分和第二部分，所述第一部分和所述第二部分套接，所述第二部分的一端固定于所述探针卡上。

可选的，在所述第二部分内设置一弹簧。

可选的，所述弹簧的一端固定于所述第二部分上。

可选的，所述开关把手的第一部分和第二部分的材料为塑料。

本实用新型探针卡的有益效果主要表现在：本实用新型探针卡在探针卡的端部设置开关把手，便于拿去，从而便于探针卡的移动；该开关把手为可伸缩的T型开关把手，从而节约了空间；在探针卡的两端均设置开关把手，对称设计，增加了探针卡的美感。

附图说明

图1为本实用新型探针卡的开关把手拉伸状态示意图。

图2为本实用新型探针卡的开关把手收缩状态示意图。

图3为图2的局部放大图。

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步的描述。

图1是本实用新型探针卡的开关把手拉伸状态示意图，所述开关把手10设置在探针卡20的一端，为了设计上的对称的美感以及提升操作的便利性，另一个较佳实施例中，在探针卡20的两端各设置一个开关把手10。

开关把手10设计成可伸缩的T字型开关把手，在需要移动探针卡20时，使得开关把手10伸长，便于手的操作，当无需移动探针卡20时则使得开关把手10收缩，容易存放。

图1中，在探针卡20上设置一孔21，开关把手10的一端便固定于该孔21中。开关把手10包括第一部分11和第二部分12，所述第一部分11和所述第二部分12套接，所述第二部分12的一端固定于所述探针卡20上，更进一步的，第二部分12的一端固定于探针卡20上的孔21中。在第二部分12内设置一弹簧13，弹簧13的一端固定于第二部分12上。在开关把手10拉伸状态下，弹簧13的另一端的伸出端16穿过第二部分，固定至第一部分11侧壁上的孔15中。第一部分11为T型结构。

图2为本实用新型探针卡的开关把手收缩状态示意图，在收缩状态下，第二部分12内的弹簧12的伸出端16穿过第二部分，固定至第一部分11侧壁上的孔14中。图3是图2的局部放大图，从图3中，可以清楚的看到弹簧12的伸出端16与第一部分11、第二部分12连接的情况。为了节约成本的同时不对探针卡20造成污染，第一部分11和第二部分12使用的材料为塑料。

探针卡在需要移动时候，打开开关，使把手升高，不需要移动时，关闭开关，把手缩回最小长度，这样既能满足日常移动的便利性，又能达到小巧，方便安置的效果。

虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。