[实用新型]PECVD载板导轨

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏行业的电池片镀膜设备，具体地说是一种用于板式PECVD（等离子增强化学气相沉积）的载板导轨。

背景技术

C/C复合载板是板式PECVD中承载电池片的重要工艺装备。如图1所示，载板1在设备上的循环运动是通过固定在载板底下的石墨垫片2与C/C复合导轨3来实现的，C/C复合载板1、石墨垫片2、C/C复合导轨3三者是通过螺丝螺母完成紧固的。运动时，C/C复合导轨3置于设备的滚轮上，滚轮转动时通过摩擦将动力提供给C/C复合导轨3并使C/C复合载板1完成在设备上的循环运动。此导轨3由于中间安装一个石墨垫片2，石墨垫片2与C/C复合导轨3的安装会累积安装误差，使得导轨3安装精度降低；另外，设备上的滚轮为不锈钢材料，在运动过程中容易对C/C复合导轨3产生磨损，大幅降低了导轨3的使用寿命和维护周期。

发明内容

本实用新型针对上述问题，提供一种PECVD载板导轨，该导轨安装精度高，并且使用寿命长。

按照本实用新型的技术方案：一种PECVD载板导轨，包括长方体形状的导轨本体，所述导轨本体的材料为不锈钢，直接固定在载板上，所述导轨本体沿长度方向的上下两个平面上开有贯穿的多个螺丝孔，所述导轨本体沿长度方向的左右两个侧面上开有多个凹槽。

每个所述凹槽分别位于相邻的两个所述螺丝孔之间。

所述多个螺丝孔均布在所述导轨本体上。

所述凹槽的长度小于所述螺丝孔的间距。

所述导轨本体两侧的所述凹槽沿多个所述螺丝孔轴线所在的面对称分布。

本实用新型的技术效果在于：本实用新型直接固定在载板上，为一体式导轨，提高了导轨本身的精度与导轨的安装精度；导轨材料采用不锈钢，大幅提高了寿命和导轨的维护成本；导轨两侧面加工的凹槽可降低导轨的重量。

附图说明

图1为现有技术中的导轨的结构示意图。

图2为本实用新型的立体结构示意图。

图3为图2中的A-A剖视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。

图1~图3中，包括C/C复合载板1、石墨垫片2、C/C复合导轨3、导轨本体4、螺丝孔5、凹槽6等。

如图2所示，本实用新型是一种PECVD载板导轨，包括长方体形状的导轨本体4，导轨本体4的材料为不锈钢，直接固定在C/C复合载板1上，导轨本体4的高度H为传统载板的C/C复合导轨3与石墨垫片2的高度之和。导轨本体4沿长度方向的上下两个平面上开有贯穿的多个螺丝孔5，多个螺丝孔5均布在导轨本体4上。

由于不锈钢导轨的重量比C/C复合材料导轨的重量重，因此在导轨本体4沿长度方向的左右两个侧面上开有多个凹槽6。每个凹槽6分别位于相邻的两个螺丝孔5之间，凹槽6的长度L2小于螺丝孔5的间距L1。如图3所示，导轨本体4两侧的凹槽6沿多个螺丝孔5轴线所在的面对称分布。

本实用新型将现有技术中的C/C复合导轨与石墨垫片组合的方式，变为一体式导轨，因此加工制造无累积误差，安装过程中减低了误差积累，提高了导轨本身的精度与导轨的安装精度；本实用新型采用优质合金不锈钢替代原C/C复合材料，大幅提高了寿命和导轨的维护成本；本实用新型在导轨两侧面加工的凹槽可降低导轨的重量。