[实用新型]晶圆环载具

权利要求书

1.一种晶圆环载具，其特征在于，包含有：

一架体，其包含有两平行侧板，该两侧板相对的内侧面分别凹设成形有多个晶圆槽，该各晶圆槽上下间隔设置，且该各晶圆槽于该架体的相对两端对外相通；该两侧板之间为一直线通道，该直线通道于该架体的相对两端对外相通；

两挡板，其分别垂直固设于该架体的两侧板上，且该两挡板分别位于该直线通道的一端；该各挡板横向依序相接成形有一装设部、一抵靠部及一槽部；该装设部固设于该架体；该槽部上凹设成形有一磁力槽，该磁力槽的开口侧面向该直线通道，该槽部面向该直线通道的面与该抵靠部面向该直线通道的那一面相切齐，该抵靠部的宽度大于该槽部的宽度；所述两挡板均为感磁材质；

两磁力元件，其分别装设固定于该两挡板的磁力槽中，该磁力元件的外侧面、该槽部面向该直线通道的面及该抵靠部面向该直线通道的那一面相切齐。

2.如权利要求1所述的晶圆环载具，其特征在于，该各挡板上的磁力槽是由该挡板弯折形成。

3.如权利要求1或2所述的晶圆环载具，其特征在于，该各挡板的装设部及抵靠部之间进一步包含有一连接部，该连接部斜向连接该装设部及该抵靠部，并使该抵靠部延伸入该直线通道中。

4.如权利要求1或2所述的晶圆环载具，其特征在于，该各挡板的装设部面向该直线通道的面及该抵靠部面向该直线通道的那一面相切齐。

5.如权利要求1或2所述的晶圆环载具，其特征在于，该晶圆环载具进一步包含有一抵靠杆，该抵靠杆直立设于该架体内且位于该直线通道的一端，该抵靠杆的外壁面与该磁力元件的外侧面、该槽部面向该直线通道的面及该抵靠部面向该直线通道的那一面相切齐。

6.如权利要求3所述的晶圆环载具，其特征在于，该晶圆环载具进一步包含有一抵靠杆，该抵靠杆直立设于架体内且位于该直线通道的一端，该抵靠杆的外壁面与该磁力元件的外侧面、该槽部面向该直线通道的面及该抵靠部面向该直线通道的那一面相切齐。

7.如权利要求4所述的晶圆环载具，其特征在于，该晶圆环载具进一步包含有一抵靠杆，该抵靠杆直立设于架体内且位于该直线通道的一端，该抵靠杆的外壁面与该磁力元件的外侧面、该槽部面向该直线通道的面及该抵靠部面向该直线通道的那一面相切齐。