[实用新型]单晶棒冷却小车

说明书

技术领域

    本实用新型涉及晶棒制造领域，尤其涉及一种单晶棒冷却小车。

背景技术

    在进行CZ直拉法过程中，晶棒拉制结束后大概5-6hr后进行取棒操作，由于硅的熔点是1420°，晶棒在单晶炉内的经过5-6冷却后，晶体表面的温度一般还有300-400°，内部温度超过500°。因此在晶棒取出后进入常温状态下，自然冷却过程中，假如冷却速度过快可造成晶体内裂等缺陷。因此往往在晶棒取出后会放置在绝热材料上避免晶棒在自然冷却过程中，与地面接触热量快速传导至地面而造成晶体内壁冷却速度过快造成裂纹缺陷。

实用新型内容

本实用新型目的就是为了弥补已有技术的缺陷，提供一种更高的杜绝晶体快速传导热量的单晶棒冷却小车。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种单晶棒冷却小车，包括有平板推车，还包括有四氟支撑架，所述的四氟支撑架表面呈锯齿状，其中每个锯齿对应一根单晶棒，将四氟支撑架水平放置在所述的平板推车上。

所述的平板推车是不锈钢的。

所述的平板推车的底部采用4个万向轮结构。

所述的万向轮结构的传动部分是耐磨橡胶。

    采用不锈钢平板推车作为运转单晶棒的底盘，底盘上放置绝热的四氟支撑架，晶棒在取出后放置在四氟支撑架上，每一个锯齿对应一根单晶棒，然后转移至冷却成品房间内进行冷却。晶体在取出时，放置在四氟支撑架上进行散热，四氟的耐热系数及导热系数均大于不锈钢，及地面能有效的隔绝热量的传导，同时不锈钢平板推车下使用4个万向轮结构，万向轮结构的传动部分采用的是耐磨橡胶，也能有效的隔绝热量。这样单晶棒可以再使得在冷却小车上自然冷却至常温状态，可有效的避免晶体快速冷却而造成的缺陷产生。

    本实用新型的优点是：本实用新型采用了四氟支撑架对单晶棒进行绝热，防止晶体快速传导热量，导致晶体内部产生内裂的现象，另外，万向轮结构上的传动部分是耐磨橡胶，能有效隔绝热量，彻底杜绝了晶体快速冷却而造成缺陷产生的现象。

附图说明

图1为本实用新型的结构图。

图2为四氟支撑架的结构图。

图3为平板小车的结构图。

具体实施方式

如图1所示，一种单晶棒冷却小车，包括有平板推车1，还包括有四氟支撑架2，所述的四氟支撑架2表面呈锯齿状，其中每个锯齿对应一根单晶棒，将四氟支撑架2水平放置在所述的平板推车1上。

所述的平板推车1是不锈钢的。

所述的平板推车1的底部采用4个万向轮结构3。

所述的万向轮结构3的传动部分是耐磨橡胶。