[实用新型]一种标准流量计

说明书

技术领域

本实用新型属于测量技术领域，涉及一种标准流量计。

背景技术

文献“恒压式气体微流量计的设计，《中国空间科学技术》、1999年第3期、第65页～71页”，介绍了一种恒压式气体微流量计。该流量计由压力补偿系统、测量与控制系统、恒温系统和抽气系统组成，该流量计不只是采用恒压法的原理设计，其核心更是采用了活塞驱动波纹管结构，采用活塞驱动液压油保持变容室内气体压力不变来产生标准流量。

但是这种流量计还存在着以下不足之处：

一、该流量计的核心采用了活塞驱动波纹管结构，采用活塞驱动液压油保持变容室内气体压力不变来产生标准流量，温度变化将引起液压油体积的膨胀或收缩，且油室中存在着死空间，这些都会影响流量计的性能；

二、该流量计结构复杂、体积重量较大，适用于在实验室内提供标准流量，不能用于现场提供流量；

三、该流量计所采用的仪器设备较多，产生成本较高，运行的费用较高，不利于推广应用。

发明内容

为了解决现有流量计性能差、体积大、成本高、不利于推广应用的技术问题，本实用新型提供一种标准流量计，克服已有技术的不足。

本实用新型的技术解决方案：

一种标准流量计，其特殊之处在于：包括进气阀门1、进气管道、压力计2、压力管道、定容室3、抽气阀门4、抽气管道、排气板及流量阀门6，

所述排气板的几何中心设置有小孔5，所述进气阀门通过进气管道与定容室的入口连通，所述定容器的出口与排气板连接，所述排气板另一端与流量阀门6连接，所述压力计通过压力管道与定容室内连通，所述抽气阀门通过抽气管道与定容室连通。

上述定容室容积为1L。

上述定容室3本底压力小于10^-3Pa。

上述小孔5的内径为10μm，小孔流导为10^-8m³/s。

本实用新型所具有的优点：

1、本实用新型提出的标准流量计，采用了定容室与小孔测量流量的结构，采用这种结构能够实现提供特定气体流量，且该流量计便于携带，可用于工业现场。

2、本实用新型流量计避免了温度变化引起液压油体积的膨胀或收缩，避免了存在死空间。

3、本实用新型流量计所采用的仪器设备少，产生成本低，运行的费用低，便于携带，可用于工业现场，易于推广应用。

附图说明

图1为本实用新型标准流量计的结构示意图；

其中，1-进气阀门、2-压力计、3-定容室、4-抽气阀门、5-小孔、6-流量阀门。

具体实施方式

一种标准流量计，包括进气阀门1、进气管道、压力计2、压力管道、定容室3、抽气阀门4、抽气管道、排气板及流量阀门6，排气板的几何中心设置有小孔5，进气阀门通过进气管道与定容室的入口连通，定容器的出口与排气板连接，排气板另一端与流量阀门6连接，压力计通过压力管道与定容室内连通，抽气阀门通过抽气管道与定容室连通。

压力计用于测量定容室中真空本底压力及充入的气体压力，测量下限小于10^-3Pa；定容室用于储存给定压力的气体，容积为1L左右，本底压力小于10^-3Pa；

抽气阀门打开，用于对定容室进行抽真空本底，使得本底压力小于10^-3Pa，用于抽出定容室中的多余的气体，控制定容室内的气体压力，内漏气率小于10^-10Pa.m³/s；

小孔用于提供稳定的流量，连接在定容室及流量阀门之间，小孔的性能稳定、流导稳定，小孔的内径为10μm左右，小孔流导为10^-8m³/s左右。

流量阀门用于通过开关提供或截止标准流量，并可与现场其余装置连接，内漏气率小于10^-10Pa.m³/s。

本实用新型的工作过程为：

首先，通过抽气阀门利用抽气系统对定容室进行抽真空，本底抽至小于10^-3Pa。

然后，关闭抽气阀门，通过进气阀门利用充气系统对定容室进行充气，当定容室内的压力达到预定值时，关掉进气阀门。如果定容室中气体压力过高，则慢慢打开抽气阀门，将多余气体抽除。

之后，断开充气系统及抽气系统。