[实用新型]一种一体化真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201220277371.0 申请日: 2012-06-08
公开(公告)号: CN202688413U 公开(公告)日: 2013-01-23
发明(设计)人: 陈军;刘黎明;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 申请(专利权)人: 杭州大和热磁电子有限公司
主分类号: C23C14/00 分类号: C23C14/00
代理公司: 杭州天正专利事务所有限公司 33201 代理人: 王兵;黄美娟
地址: 310053 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 一体化 真空镀膜
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及机械制造领域的机械装备结构,尤其是适用于一种一体化真空镀膜机。

背景技术

现有的真空镀膜机普遍采用分体结构,即真空腔体与电气控制柜分成两大部分,在制造厂分别制造成套后,运到现场进行总体安装。优点是真空腔体与电气控制柜互不干扰,真空腔体的维护空间大;缺点是现场的安装调试工作量大,调试周期长。

发明内容

为了克服现有技术真空镀膜机分体结构存在的安装调试工作量大,调试周期长的问题,本实用新型提供一种既可以使真空腔体有足够大的维护空间,又可以减少调试工作量的一体化真空镀膜机。

本实用新型采用的技术方案是:

一种一体化真空镀膜机,包括一侧设置有电气柜的真空腔体和设置在真空腔体另一侧的机架,其特征在于:还包括导轨,所述电气柜和所述真空腔体一体式连接;所述导轨设置在所述真空腔体的底部,所述电气柜通过所述导轨与所述机架滑动连接,所述电气柜通过所述导轨可横向移动。

进一步,所述电气柜的侧面设有多个用于铺设电缆的通孔。

进一步,所述通孔内设有用于保护所述电缆的电缆接头。

本实用新型当真空腔体需要维护时,可以将电气柜通过导轨横向移出。

本实用新型的有益效果体现在:既保证了真空腔体的维护方便,又减少了占地面积,方便了安装调试,减少了安装调试的周期。

附图说明

图1是本实用新型一体式真空镀膜机维护状态图。

图2是本实用新型一体式真空镀膜机整体结构示意图。

图3是本实用新型一体式真空镀膜机导轨的安装位置放大图。

具体实施方式

参照图1至图3,一种一体化真空镀膜机,包括一侧设置有电气柜2的真空腔体1和设置在真空腔体1另一侧的机架3,特点是还包括导轨4,所述电气柜2和所述真空腔体1一体式连接;所述导轨4设置在所述真空腔体1的底部,所述电气柜2通过所述导轨4与所述机架3滑动连接,所述电气柜2通过所述导轨4可横向移动。

进一步,所述电气柜的侧面设有多个用于铺设电缆的通孔5。

进一步,所述通孔5内设有用于保护所述电缆的电缆接头。

本实用新型当真空腔体1需要维护时,可以将电气柜2通过导轨4横向移出。

本说明书实施例所述的内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举,本实用新型的保护范围的不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式,本实用新型的保护范围也及于本领域技术人员根据本发明构思所能够想到的等同技术手段。

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