[实用新型]一种多坩埚电子枪

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械制造领域的机械装备结构，尤其是适用于一种多坩埚电子枪。

背景技术

真空镀膜设备在一次镀膜周期内，通常需要镀多层不同材料的膜；因此需要多坩埚电子枪，各坩埚沿轴心圆周排列，坩埚上方设有盖板，盖板设有孔，装有当前所需的蒸发源材料的坩埚露出盖板，其余坩埚都在盖板之下；当需要镀不同的材料时，通过电子枪传动机构转动轴心，将装有不同蒸发源材料的坩埚转动到盖板的孔位置。但是，在电子枪加热时，由于电子束的能量较大，有时会引起蒸发源材料的飞溅，飞溅的源材料堆积在坩埚口与盖板之间，造成轴转动时坩埚与盖板卡死现象。若将盖板与坩埚留出较大缝隙，在电子枪加热某种源材料时，该材料的蒸汽会通过盖板与坩埚之间的缝隙污染其他源材料，造成交叉污染。

发明内容

为了克服现有技术镀膜过程中存在的坩埚和盖板卡死现象和电子枪加热某种源材料时造成交叉污染的问题，本实用新型提供一种多坩埚电子枪。

本实用新型采用的技术方案是：

一种多坩埚电子枪，包括多个坩埚、传动轴和盖板，所述多个坩埚沿所述传动轴轴心圆周排列，所述坩埚上方设有盖板，所述盖板上设有孔，其特征在于：还包括一个升降机构，所述升降机构设置在所述盖板下方且与盖板相连；当镀膜时，所述升降机构将所述盖板下降，盖板与坩埚口紧贴，防止蒸发气体污染其他源材料；当需要转动坩埚时，所述升降机构将所述盖板升高，盖板与坩埚之间产生缝隙，避免盖板与坩埚卡死。

进一步，所述升降机构包括压缩空气管路、气阀和气缸。

进一步，所述压缩空气管路包括提升管路、下降管路、放气管路。

本实用新型的有益效果体现在：克服了盖板与坩埚卡死的问题，且盖板紧贴坩埚口，可以防止蒸发源材料通过盖板孔污染其他源材料；气动升降机构具有结构简单、控制方便的优点。

附图说明

图1是本实用新型盖板在下降的位置时的结构示意图。

图2是本实用新型盖板在上升的位置时的结构示意图。

图3是本实用新型局部剖视示意图。

具体实施方式

参照图1、图2和图3，一种多坩埚电子枪，包括多个坩埚1、传动轴和盖板2，所述多个坩埚1沿所述传动轴轴心圆周排列，所述坩埚1上方设有盖板2，所述盖板2上设有孔，特点是还包括一升降机构3，所述升降机构3设置在所述盖板2下方且与盖板2相连；当镀膜时，所述升降机构3将所述盖板2下降，使盖板2与坩埚口紧贴，防止蒸发气体污染其他源材料；当需要转动坩埚1时，所述升降机构3将所述盖板2升高，加大盖板2与坩埚1之间的缝隙，避免盖板2与坩埚1卡死。

进一步，所述升降机构3包括压缩空气管路、气阀和气缸7。

进一步，所述压缩空气管路包括提升管路4、下降管路5、放气管路6。

本说明书实施例所述的内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举，本实用新型的保护范围的不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本实用新型的保护范围也及于本领域技术人员根据本发明构思所能够想到的等同技术手段。