[实用新型]一种微机电传感器的内减震装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及微机电传感器，具体是一种微机电传感器的内减震装置。

背景技术

在需要对微机电系统进行设计中一般都设有微机电系统传感器，例如微机电陀螺仪传感器、加速度传感器、磁场传感器等容易受震动影响的微机电器件，随着测量装置的越来越精确，对传感器测量精度和采用速率也就越来越快，震动产生的影响也相应增大，因此减少微机电传感器系统的震动影响既能保持测量装置的稳定运行和采样数据更加准确，也能固定微机电传感器系统不会在震动过程中随机晃动。

现有对微机电传感器系统进行减震方式，一般采用直接接触式减震方法，随着对微机电传感器测量精度参数越来越高，带有粘性的减震胶已经无法满足震动强度大的应用场合了。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种设计简单、结构紧凑、使用方便、成本低且微机电传感器系统输出数据稳定的内减震装置。该装置不仅避免了在剧烈震动时使得传感器数据产生一些奇异信号的输出，内置的海绵也起固定的微机电传感器系统作用。

实现本实用新型目的的技术方案是：

一种微机电传感器的内减震装置，包括微机电传感器、防滑动底板、姿态测量系统的主控板及挠性印制线路，与现有技术不同的是：还设置有上减震凹形海绵和下减震海绵，下减震海绵通过双面贴固定在姿态测量系统的主控板上，微机电传感器通过双面贴悬浮在上减震凹形海绵和下减震海绵之间，上减震凹形海绵与防滑动底板固连，挠性印制线路一端穿过上减震凹形海绵上的凹槽并与微机电传感器连接，另一端与主控板连接。

所述上减震凹形海绵呈长方体形，厚4mm，中部设置有凹槽。

所述下减震海绵呈长方体形，厚4mm。

所述双面贴为带有弹性的双面贴，其四个角呈圆环状，增大了其粘附力。

本实用新型的优点是：本内减震装置通过上减震凹形海绵、下减震海绵和挠性印制线路以及防滑动底板对该微机电传感器系统进行固定，避免了微机电传感器在强烈震动的情况下，产生倾斜或者完全脱离减震结构等意外情况，不管上下震荡还是左右震荡都不会对该系统内部传感器产生影响，达到了非常好的防震效果，且设计简单，结构紧凑，成本低。

附图说明

图1为本实用新型一种微机电传感器的内减震装置的结构示意图。

图中：1.防滑动底板  2.上减震凹形海绵  3.双面贴  4.微机电传感器  5.下减震海绵  6.主控板  7.挠性印制线路。

具体实施方式

参照图1，本实用新型一种微机电传感器的内减震装置由防滑动底板1、上减震凹形海绵2、微机电传感器4、下减震海绵5和主控板6组成，上减震凹形海绵2上设有凹槽，并与防滑动底板1固接，微机电传感器4上、下两面通过双面贴3分别与上减震凹形海绵2和下减震海绵5连接，下减震海绵5粘连在姿态测量系统的主控板6上，挠性印制线路7一端穿过上减震凹形海绵2上的凹槽与微机电传感器连接，另一端与主控板6连接。

本实用新型利用上减震凹形海绵和下减震海绵的动力相互作用的阻尼作用进行减震，基于集中质量模型质点体系理论，分析了微机电传感器系统的隔震结构的减震原理，并且分析了基于集中质量模型的多质点体系，并对减震后的微机电传感器系统的输出数据进行了验证。从实际的测试和仿真结果表明：底部、顶部隔震体系都有一定的减震效果，并且利用上下减震这个体系的优点不需要额外的减震，也不需要为装置提供额外的减震空间，同时，该方案比较容易在实际工程中得到实现，并且降低了生产和调试成本。