[实用新型]一种器件快速烘干设备

说明书

技术领域

本实用新型属于功率半导体器件生产设备技术领域。具体涉及一种用于对功率半导体器件中半导体器件进行快速烘干的烘干设备。

背景技术

目前，对功率半导体器件中半导体器件的烘干常采用密闭烘箱进行烘干，密闭烘箱采用电炉丝加热，这种烘干方式已用了几十年，缺点明显。具体缺点如下：1、烘干时间长；2、烘干时会不断污染器件；3烘箱温度变化大；4、每天需要对烘箱不断进行清洁；5、耗电相对要高。采用现有密闭烘箱进行烘干的半导体器件器件的漏电流不够低，可靠性不够高。

发明内容

本实用新型的目的就是针对上述不足之处而提供一种可以将半导体器件进行快速烘干，并能降低器件漏电流、提高器件可靠性和节省电能的半导体器件快速烘烤设备。

本实用新型的技术解决方案是：一种器件快速烘干设备，包括烘箱，其特征是：所述的烘箱包括通道型烘箱箱体和设置在烘箱箱体内的红外烤灯；在烘箱箱体的上方设有与该烘箱箱体相通的空气净化器；在烘箱箱体内的底面上设有物件传送链条。

本实用新型技术解决方案中所述的红外烤灯均匀设置在烘箱箱体内两侧壁上。

本实用新型技术解决方案中所述的烘箱箱体为由不锈钢材料制成的烘箱箱体。

本实用新型技术解决方案中所述的空气净化器由高效过滤器组成。

本实用新型由于采用由烘箱箱体、空气净化器、红外烤灯和物件传送链条构成的一种器件快速烘干设备，其中，空气净化器设置在烘箱箱体的上方，并与烘箱箱体相通，物件传送链条设置在烘箱箱体内的底面上，因而可在整个烘干过程中始终使烘箱箱体内空处于净化状态，不用常规的电炉丝加热的烘箱，采用红外烤灯3的加热方式直接对器件加热烘干，不仅操作简便，而且大大提高效率，在工艺上有实质性突破的提高。使器件在干净的条件下烘干，而且烘干速度由原来的1小时缩短至10分钟，保持了器件干净干燥，达到降低器件漏电流、提高器件可靠性并达到节省电能的效果。本实用新型具有可以将半导体器件进行快速烘干，并能降低器件漏电流、提高器件可靠性和节省电能的特点。本实用新型主要用于对功率半导体器件中半导体器件进行快速烘干。

附图说明

图1为本实用新型的总体结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1所示。本实用新型一种器件快速烘干设备由烘箱箱体1、空气净化器2、红外烤灯3和物件传送链条4构成。烘箱箱体1为通道型，物件传送链条4设置在烘箱箱体1内的底面上。空气净化器2设置在烘箱箱体1的上方,与烘箱箱体1相通。红外烤灯3均匀设置在烘箱箱体1内两侧壁上。

烘箱箱体1由不锈钢材料制造，用来作为设备主体支架。空气净化器2由高效过滤器组成。红外烤灯3作为烘箱的发热源，代替烘箱的加热炉丝。物件传送链条4由不锈钢材料制造，传送器件用，以保证半导体器件5在烘干过程中送入和传出。

本实用新型的工艺流程：半导体器件5由传送链条4带入，快速进入红外烤灯3加热区，半导体器件5快速加热，蒸发出来的水分由空气净化器2吹出的洁净空气带走，继续保持器件表面的干净，器件快速通过加热区，由物件传送链条4传出，工艺过程结束，手工取下半导体器件5。