[实用新型]用于支撑和输送基板的装置

权利要求书

一种用于支撑和输送基板的装置，所述基板用于沉积印刷迹线，所述装置包括： 

支撑板，其具有支撑表面，所述支撑表面用于支撑放置在所述支撑表面上的基板； 

第一流体动力回路，其被配置为在所述支撑板的所述支撑表面的一个或多个第一区域中产生第一吸入条件、以维持所述基板附着到所述支撑表面上；以及 

第二流体动力回路，其被配置为在所述支撑板的所述支撑表面的一个或多个第二区域中产生第二吸入条件，其中所述一个或多个第二区域被布置成在所述基板搁置在所述支撑表面上时、与所述基板中的一个或多个孔流体地连通。 

根据权利要求1所述的装置，其中所述第二吸入条件被配置为，受到控制以允许使用导电材料对所述基板中的所述一个或多个孔的受控填充。 

根据权利要求1所述的装置，其中所述支撑表面还具有多个第一孔和多个第二孔，所述多个第一孔与所述第一流体动力回路流体地连通，所述多个第二孔与所述第二流体动力回路流体地连通，并且第一孔和第二孔至少部分地朝向所述支撑表面开口。 

根据权利要求3所述的装置，其中所述第二孔的至少一些被布置成在所述基板搁置在所述支撑表面上时与所述基板的孔对齐。 

根据权利要求4所述的装置，其中所述第二孔的至少一些具有在所述支撑表面附近终止的喇叭形部分。 

根据权利要求4所述的装置，还包括覆盖元件，所述覆盖元件至少部分地布置在所述多个第二孔的至少一个的内部，其中所述覆盖元件相对于所述支撑表面缩进、以至少部分地覆盖至少一个第二孔。 

根据权利要求5所述的装置，还包括覆盖元件，所述覆盖元件至少部分地布置在具有喇叭形部分的所述多个第二孔的至少一个的内部，其中 所述覆盖元件相对于所述支撑表面缩进、以至少部分地覆盖所述至少一个第二孔，其中所述覆盖元件布置在所述第二孔的所述喇叭形部分的内部。 

根据权利要求2所述的装置，还包括控制单元，所述控制单元被配置为在所述第二流体动力回路中控制在时间的不同时刻处且对于确定的时间间隔作用的至少第一水平的吸入压力和第二水平的吸入压力。 

根据权利要求1所述的装置，还包括： 

第一吸入装置，其用于产生所述第一吸入条件；以及 

第二吸入装置，其用于产生所述第二吸入条件。 

根据权利要求1的装置，还包括： 

第一吸入单元，其与所述第一流体动力回路流体地连通；以及 

第二吸入单元，其独立于所述第一吸入单元，并且与所述第二流体动力回路流体地连通。 

根据权利要求3所述的装置，其中所述第一流体动力回路至少部分地独立于所述第二流体动力回路，并且所述装置还包括： 

基底元件，其耦合到第一气动连接件和第二气动连接件； 

支撑平台，其布置在所述基底元件的上方；以及 

扩散元件，其布置在所述支撑平台的上方，其中所述支撑板布置在所述扩散元件的上方。 

根据权利要求11所述的装置，还包括： 

一个或多个管道，其形成在所述支撑平台与所述基底元件之间；以及 

在所述支撑平台中的一个或多个孔，其与所述一个或多个管道流体地连通，并且与所述支撑表面中的所述第一孔流体地连通。 

根据权利要求12的装置，还包括： 

在所述基底元件中的腔体，所述腔体与所述第二气动连接件流体地连通； 

第一空隙，其形成在所述支撑平台与所述扩散元件之间，其中所述第一空隙与在所述基底元件中的所述腔体流体地连通；以及 

第二空隙，其形成在所述扩散元件与所述支撑板之间，其中所述第二空隙被配置成，通过在所述扩散元件中的多个孔以及在所述扩散元件的周 界边缘与所述支撑平台之间的间隙中的一者或两者、与所述第一空隙流体地连通，并且其中所述第二空隙与在所述支撑板的所述支撑表面中的所述第二孔流体地连通。