[实用新型]石英舟有效
申请号: | 201220271505.8 | 申请日: | 2012-06-11 |
公开(公告)号: | CN202662580U | 公开(公告)日: | 2013-01-09 |
发明(设计)人: | 常永喜;陈文;申应琪 | 申请(专利权)人: | 苏州安融石英有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215123 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种石英舟,属于晶体硅太阳能电池技术领域。
背景技术
石英玻璃制品以其优良的物理化学特性,被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业。石英玻璃是以含二氧化硅物质,如水晶、硅石。四氧化硅为原料高温熔制而成。其二氧化硅含量比普通玻璃高得多,一般石英玻璃二氧化硅含量在99.999%,石英玻璃制品的纯净度也非常高,即使在高温状态下,也不会向外释放杂质微粒。石英玻璃还具有优异的光学性能,不仅可见光透光度特别好,而且透紫外线,红外线。
石英玻璃电学性能极佳,在常温下,它的电阻相当于普通玻璃的10倍,对全部频率的介电损失很微小,绝缘耐压强度大。
透明石英玻璃的线膨胀系数的5.4*10,相当于普通玻璃的1/121/20由于石英玻璃的热膨胀系数低,故热稳定性能特别好,透明石英玻璃的平均比热是0.251(0-900℃)热传导率是0.0035卡/厘米、秒、度(20℃)透明石英玻璃的变形点,退火点和工作温度。
石英舟是扩散时的常用工具。扩散是制造太阳能电池光电转换核心部件-PN结的工艺环节,是太阳能电池制造的关键技术。现有的石英舟舟脚一直使用的是透明石英来进行磨砂处理,但是在实际使用时 刚开始还可以在红外线的照射下准确找出基准点,但是经过一段时间后,磨砂表面脱落,就很难找出基准点。
实用新型内容
本实用新型的目的是为解决上述技术问题,提供一种石英舟,它的舟脚是乳白不透明石英,具有对红外线有良好反射率的优点。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种石英舟,包括舟体和连接舟体的同一侧的两个舟脚,所述舟脚均为乳白不透明石英,所述舟脚和所述舟体的材质均为石英材质并通过高温熔融焊接连接在一起,在以往技术中,都是使用透明石英来进行磨砂处理,但是在实际使用时刚开始还可以在红外线的照射下准确找出基准点,但是经过一段时间后,磨砂表面脱落或表面变的光滑后,其对光线的反射率就大大降低,就很难找出基准点,导致自动检测设备定位不准,从而撞坏或撞损石英舟。
与现有技术相比,本实用新型的优点是,采用了乳白不透明石英材料作为舟脚,材质上保证了统一性,在高温加工中,不会向外释放杂质微粒,确保石英舟所承载的被加工物体的纯度和良品率,且在检测环节,舟脚能一直保持对红外线较高的反射率,使得自动检测设备的定位能保持稳定,不会出现定位不准撞坏舟脚的问题,显著提高了石英舟的使用寿命。
附图说明
图1是本实用新型的侧视图;
图2是本实用新型的俯视图;
图中,1-舟体,2-舟脚
具体实施方式
本具体实施例仅仅是对本发明的解释,其并不是对本发明的限制,本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改,但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。
实施例一
如图1、图2所示,一种石英舟,包括舟体1和连接舟体1的同一侧两个舟脚2,两个所述舟脚2均为乳白不透明石英,所述舟脚2和所述舟体1的材质均为石英材质,所述舟脚2和所述舟体1通过高温熔融焊接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造