[实用新型]曝光机及其照度控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及微电子领域，尤其涉及一种曝光机及其照度控制装置。

背景技术

曝光机是微电子行业芯片制造流程中经常用到的一种设备，使用时一般有恒定功率和恒定照度这两种模式。恒定功率使用模式下，曝光灯功率恒定，负荷稳定，使用寿命长，但因曝光灯一般是超高压水银灯，使用时间长了会变暗，照度也随之下降，而实际使用曝光机进行光刻过程中一般期望获得恒定的照度。恒定照度使用模式下，曝光灯照度稳定，但现有技术是通过控制曝光机光源的电压来实现照度控制的，所以曝光灯的电压及使用功率会随使用时间上升，光源功率不稳定，负荷较大，影响曝光灯的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种曝光机及其照度控制装置，既能使照度在一定范围内恒定，又可保证光源功率稳定，提高曝光灯的使用寿命。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种曝光机的照度控制装置，包括：

平行设置的第一偏振片、第二偏振片和通过机械传动方式与所述第二偏振片连接的驱动部件；

所述第一偏振片的光轴和所述第二偏振片的光轴重合，所述第一偏振片固定设置，所述第二偏振片可在自身所在平面内旋转，所述驱动部件驱动所述第二偏振片在自身所在平面内旋转。

所述的照度控制装置，还包括：

用于监控偏振光的光照强度的第一照度计，设置在所述第一偏振片和所述第二偏振片之间。

所述第一照度计设置在所述第一偏振片和所述第二偏振片之间的中心轴线上。

可选地，所述驱动部件为线性马达。

所述的照度控制装置，还可包括：

控制器，分别与所述第一照度计和所述驱动部件相连接；

所述控制器接受设定的照度和所述第一照度计的测量结果并控制所述驱动部件。

进一步地，所述的照度控制装置，还可包括：

第二照度计，用以监控所述曝光机出射光的光照强度，与所述控制器相连；

所述控制器接受所述第二照度计的测量结果，并控制所述驱动部件进行照度校正。

可选地，所述第二偏振片的边缘呈齿轮状。

本实用新型实施例还提供一种曝光机，设置有上面所述的任一照度控制装置。

本实施例所述曝光机及其照度控制装置，照度控制装置包括两个偏振片，第一偏振片固定设置，偏振方向无法改变，第二偏振片可在自身所在平面内旋转以改变偏振方向，根据物理常识，透过两个偏振片后光的强度，与第一偏振片偏振方向与第一偏振片偏振方向所成夹角(两偏振片偏振方向的夹角θ)有关，通过旋转第二偏振片改变两偏振片偏振方向的夹角θ，即可改变光的强度，从而达到控制出射光照度的目的，因此本实用新型本实施例所述曝光机及其照度控制装置，能通过旋转第二偏振片使照度在一定范围内恒定，不需要调节光源电压，可保证光源功率稳定，提高曝光灯的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型实施例中的照度控制装置的结构示意图一；

图2为本实用新型实施例中的照度控制装置的结构示意图二；

图3为本实用新型实施例中的照度控制装置的结构示意图三；

图4为本实用新型实施例中的照度控制装置的结构示意图四；

图5为本实用新型实施例中的曝光机的光路示意图。

附图标记说明

1-高压水银灯，2-集光镜，3-第一平面镜，4-快门，5-光学积分器，

6-准直镜，7-第二平面镜，8-露光面，9-第二照度计，

10-照度控制装置，11-第一偏振片，12-第二偏振片，

13-第一照度计，14-驱动部件，15-控制器，16-线性马达。

具体实施方式

本实用新型实施例提供一种曝光机及其照度控制装置，既能使照度在一定范围内恒定，又可保证光源功率稳定，提高曝光灯的使用寿命。

下面结合附图对本实用新型实施例进行详细描述。此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例一

本实用新型实施例提供一种曝光机的照度控制装置，如图1所示，该装置包括：

平行设置的第一偏振片11、第二偏振片12和通过机械传动方式与所述第二偏振片连接的驱动部件(在图1或2中没画出)；

第一偏振片11的光轴和第二偏振片12的光轴重合，第一偏振片11固定，第二偏振片12可在自身所在平面内旋转，所述驱动部件驱动所述第二偏振片在自身所在平面内旋转。