[实用新型]一种磁电阻齿轮传感器

权利要求书

1.磁电阻齿轮传感器，其特征在于，该传感器包括磁传感芯片(181)和第一永磁体(182)，所述磁传感芯片(181)包括至少一个电桥，该电桥的每一个桥臂包括至少一个MTJ元件组(13，23)。

2.根据权利要求1所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，所述传感器进一步包括设置于所述磁传感芯片(181)与所述第一永磁体(182)之间的凹形的软磁体(184)，且所述软磁体(184)的开口朝向所述磁传感芯片(181)。

3.根据权利要求1所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，所述至少一个MTJ元件组是多个MTJ元件组，该多个MTJ元件组串联和/或并联连接。

4.根据权利要求3所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，该多个MTJ元件组以相同敏感方向串联和/或并联连接。

5.根据权利要求1所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，每一包括MTJ元件组的桥臂具有相同的敏感方向。

6.根据权利要求1所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，所述电桥为半桥(15)、全桥(16)或双全桥(17)。

7.根据权利要求1所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，每一MTJ元件组(13，23)包括串联和/或并联连接的多个MTJ元件(11，21)。

8.根据权利要求1所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，每一MTJ元件组(13，23)包括以相同敏感方向串联和/或并联连接的多个MTJ元件(11，21)。

9.根据权利要求7或8所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，每一MTJ元件(11)为多层膜结构，包括依次沉积的钉扎层(114)、被钉扎层(115)、隧道势垒层(116)和磁性自由层(117)。

10.根据权利要求9所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，所述每一MTJ元件组(13)的两侧设有一对第二永磁体(14)，该对第二永磁体(14)相对于该MTJ元件组(13)的敏感方向倾斜设置用于给所述MTJ元件组(13)提供偏置磁场。

11.根据权利要求9所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，所述每一MTJ元件组(13)的两侧设有一对第二永磁体(14)，该对第二永磁体(14)相对于该MTJ元件组(13)的敏感方向倾斜设置用于消除所述MTJ元件组(13)的奈耳耦合场。

12.根据权利要求10所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，该对第二永磁体(14)相对于该MTJ元件组(13)的敏感方向倾斜设置进一步用于消除所述MTJ元件组(13)的奈耳耦合场。

13.根据权利要求7或8所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，每一MTJ元件(21)为多层膜结构，包括依次沉积的钉扎层(214)、被钉扎层(215)、隧道势垒层(216)、磁性自由层(217)和偏置层(218)。

14.根据权利要求13所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，每一MTJ元件(21)进一步包括设于所述磁性自由层(217)与所述偏置层(218)之间的隔离层。

15.根据权利要求1所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，所述传感器进一步包括与所述磁传感芯片(181)电连接的控制电路(183)。

16.根据权利要求15所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，所述控制电路根据所述磁传感芯片输出的电压信号与齿轮轮齿位置点的对应关系确定轮齿的位置。

17.根据权利要求1所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，所述磁传感芯片包括双全桥，所述双全桥的每一桥臂包括MTJ元件组，所述控制电路根据所述磁传感芯片输出的电压信号确定齿轮的运动方向。

18.根据权利要求1所述的磁电阻齿轮传感器，其特征在于，所述传感器进一步包括外壳(185)。