[实用新型]晶圆劈裂摄像装置有效
| 申请号： | 201220256305.5 | 申请日： | 2012-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN202702426U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 林万春 | 申请（专利权）人： | 竑腾科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;H04N5/225 |
| 代理公司： | 北京寰华知识产权代理有限公司 11408 | 代理人： | 王晔;于淑惠 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 劈裂 摄像 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆劈裂摄像装置，搭配晶圆劈裂机并撷取晶圆的轮廓影像与尺寸，其特征在于，该晶圆劈裂摄像装置包含有：
一运算单元；
一轮廓撷取单元，其电性连接该运算单元，可撷取晶圆轮廓影像并传送至该运算单元；以及
一尺寸撷取单元，其电性连接且受控于该运算单元，该尺寸撷取单元可撷取晶圆轮廓边界的坐标资料并传送至该运算单元。
2.根据权利要求1所述的晶圆劈裂摄像装置，其特征在于，该轮廓撷取单元位于该晶圆劈裂机的前端作业区，该尺寸撷取单元设置于该晶圆劈裂机上。
3.根据权利要求1所述的晶圆劈裂摄像装置，其特征在于，该轮廓撷取单元与尺寸撷取单元均设置于该晶圆劈裂机上。
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