[实用新型]真空镀膜机用自转工件支撑架有效
申请号: | 201220253977.0 | 申请日: | 2012-05-31 |
公开(公告)号: | CN202610314U | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 张淑波 | 申请(专利权)人: | 天津尚达表面处理有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人: | 徐慰明 |
地址: | 301721 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 自转 工件 支撑架 | ||
【权利要求书】:
1.一种真空镀膜机用自转工件支撑架,包括工架、由电动机驱动的主动齿轮以及与其啮合的齿轮盘,其特征在于:所述工架底部固定有支承轴,所述支承轴通过轴承座支承在齿轮盘的盘壁上,支承轴的一端键接有自转齿轮;所述自转齿轮与设置在齿轮盘下部的固定大齿轮啮合。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机用自转工件支撑架,其特征在于:所述固定大齿轮通过滚轮与齿轮盘滑动配合。
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