[实用新型]一种节能型多功能旋涂机

说明书

技术领域

    本实用新型属于一种材料表面涂覆设备，特别是涉及一种节能型多功能旋涂机。

背景技术

旋涂机又称匀胶机、甩胶机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、真空镀膜机等，适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺，主要应用于溶胶-凝胶（sol-gel）实验中的薄膜制作，其工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。

旋涂机的旋转速度和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性，如果标示的转速和电机的实际转速误差较大，尤其是某些匀胶机只能提供转速范围，并不能精确标定实时的转速，则对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据。另外，旋涂机的真空吸附系统中的真空泵一定要压力标定准确，同时要保证油污不会堵塞真空管道。因为真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况，还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。同时，为了节约成本，大部分旋涂机机采用的是不锈钢或者普通塑料材质，对于半导体化工行业的应用来说，不锈钢材质的旋涂机对于各类化工胶液的抗腐蚀性不好，而塑料材质的旋涂机则在较高温和压力下易产生变形，容易造成托盘的位置失去水平状态，从而导致旋涂时的颠簸，影响旋涂效果。

旋涂机的种类繁多，一般都是根据涂覆的产品进行专门设计，通常旋涂机的设计多为固定形状、固定尺寸。而在实验室中，由于需要对不同形状、不同尺寸的基材进行涂覆，如果根据不同的基材购置不同的旋涂机，通常采购一台国产旋涂机需要几千元，采购一台进口旋涂机需要上万元，不仅价格高昂，而且等待设备到位也极其浪费时间，同时过多的设备也会造成实验室空间的拥挤。而对大多数实验室来说，在实验经费有限的情况下，通常只能采用通过搭建粗糙的实验设备进行涂覆实验，不仅实验数据的精准性不高，而且会造成实验结果一定的局限性。

发明内容

为解决上述问题，本实用新型公开了一种节能型多功能旋涂机，可以实现一台旋涂机进行不同基材的涂覆工作，而且可以对涂料进行回收利用，结构简单，成本低廉。

本实用新型公开的一种节能型多功能旋涂机，包括底座、支架、固定夹、旋转装置、由杯罩、涂覆环和盘基板组成的涂覆杯，所述的涂覆杯还包括回收装置和试样夹具，所述的支架的尾端与底座固定连接，所述的支架上设置有固定夹，所述的旋转装置通过固定夹与支架连接，所述的涂覆杯设置在旋转装置的上方，所述的涂覆环同轴设置在回收装置的内部并连接到涂覆杯下端，所述的盘基板水平设置在涂覆环的内部，所述的涂覆环的表面设置有通孔，所述的试样夹具由通孔连接到盘基板上方。

本实用新型公开的一种节能型多功能旋涂机的一种改进，所述的试样夹具沿涂覆环径向设置。

本实用新型公开的一种节能型多功能旋涂机的一种改进，所述的试样夹具成对设置在涂覆环上，且至少为两对。

本实用新型公开的一种节能型多功能旋涂机的一种改进，所述的涂覆环A-A向截面为直角梯形。

本实用新型公开的一种节能型多功能旋涂机的又一种改进，所述的回收装置A-A向截面为直角梯形。

本实用新型公开的一种节能型多功能旋涂机，通过设置的杯罩，可以将涂覆杯进行围挡，防止涂覆液甩出涂覆杯；通过设置在涂覆环上的通孔和试样夹具，可以根据不同尺寸、不同形状的基材对盘基板进行调节固定，并可以通过支承盘基板使涂料沿涂覆环环流于回收装置内；通过设置的回收装置，可以对多余的涂料进行存储，同时还可以在涂料存储满后及时进行拆卸和清洗；通过设置的旋转装置可以根据不同的基材和涂覆要求进行涂覆时间和旋转速率的调节，提高了实验数据的精准性。本实用新型结构简单，成本低廉，非常便于工业化生产，而且可以根据不同形状、不同尺寸的基材试样进行涂料涂覆，还可以在涂覆过程中回收多余的涂料并进行再利用，节约了涂覆成本，同时还可以根据需要对涂覆杯进行拆卸和清洗，保证了旋涂机的清洁和涂料的纯度，延长了旋涂机的使用寿命，还可以根据不同的实验要求选择涂覆时间和旋转速率，使基材达到最佳涂覆效果。

附图说明

图1、本实用新型的结构示意图；

图2、本实用新型涂覆杯的俯视图； 

图3、图2的A-A向剖视图；

图4、本实用新型涂覆杯的立体图；