[实用新型]适用于平面磨光设备的上板装置有效
申请号: | 201220248854.8 | 申请日: | 2012-05-30 |
公开(公告)号: | CN202622498U | 公开(公告)日: | 2012-12-26 |
发明(设计)人: | 梁信宏 | 申请(专利权)人: | 昆山正秉电子材料有限公司 |
主分类号: | B24B7/00 | 分类号: | B24B7/00 |
代理公司: | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人: | 李卫平 |
地址: | 215311 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 适用于 平面 磨光 设备 装置 | ||
1.适用于平面磨光设备的上板装置,其特征在于:该上板装置至少具有一支撑架及一承托架,承托架以翘翘板形式安装在支撑架上,承托架上设有至少两根平行排列的滚柱。
2.根据权利要求1所述的适用于平面磨光设备的上板装置,其特征在于:所述上板装置还包括有一可凸伸出承托架之滚柱顶面的万向托架,该万向托架的上端设有若干具有支顶作用的万向轮,万向托架安装在承托架或支撑架上,万向托架由伸缩机构驱动伸缩。
3.根据权利要求1所述的适用于平面磨光设备的上板装置,其特征在于:所述支撑架上设有给予承托架倾斜定位的第一定位部和给予承托架水平定位的第二定位部。
4.根据权利要求1或2所述的适用于平面磨光设备的上板装置,其特征在于:所述上板装置的承托架上还设有触碰开关,触碰开关控制所驱动承托架上的滚柱的动力装置,以及控制所驱动万向托架伸缩的伸缩机构。
5.根据权利要求2所述的适用于平面磨光设备的上板装置,其特征在于:所述伸缩机构为气缸。
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