[实用新型]一种单晶硅、蓝宝石十字定向装置有效
| 申请号: | 201220247854.6 | 申请日: | 2012-05-29 |
| 公开(公告)号: | CN202710489U | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
| 发明(设计)人: | 秦建国 | 申请(专利权)人: | 秦建国 |
| 主分类号: | G01N23/00 | 分类号: | G01N23/00 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 杨小双 |
| 地址: | 101500 北京市密云*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶硅 蓝宝石 十字 定向 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种人工晶体加工设备的辅助装置,特别是一种单晶硅、蓝宝石十字定向装置。
背景技术
在单晶硅、蓝宝石的晶向测量和加工中,X光机上测蓝宝石的晶向只能侧一个方向,在测另一个方向时可划线,之后再根据划线来测量其他的方向的晶向;或者根据初步测量的结果进行粗加工,然后在测量晶向进行精加工,加工工艺复杂,产品成品率低。
因此需要设计一种便于准确测量单晶硅、蓝宝石晶向的装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种单晶硅、蓝宝石十字定向装置,解决单晶硅和蓝宝石加工时晶向测量效率低,不准确,导致产品成品率低的问题。
为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
一种单晶硅、蓝宝石十字定向装置,包括底座和立柱,所述立柱上横向安装有X光机座,其上安装有X光机,所述底座上依次安装有下层支座、中层台面和上台面,所述中层台面一端与下层支座是可翻转连接,另一端与下层支座通过螺钉连接,通过调整螺钉的升降能够调节中层台面的倾斜角度,所述中层台面上安装有可在中层平台上360°转动的上台面,所述上台面上安装有三爪卡盘。
优选的,所述上台面呈工字型,工字型下端两侧各有一块压板将上台面压紧固定在中层台面上。
本实用新型结构简单,操作方便,通过采用可以360°转动的上层平台结构,并在其上安装三爪卡盘卡紧待加工的宝石或单晶硅,实现便捷、准确的测量,而且在上台面下设置有一个可以调整一侧倾斜角度的中层台面,用于辅助测量其它晶向面;将本实用新型安装在平面磨床或套料机上,测量完成后可直接进行磨平面或套料加工,提高了测量和加工的效率和准确率,提高了产品成品率。
附图说明
图1是本实用新型整体结构示意图。
图中:
1、立柱;2、X光机座;3、X光机;4、蓝宝石;5、三爪卡盘;6、上台面;7;压板;8、螺钉;9、中层台面;10、下层支座;11、底座。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
如图1所示,本实用新型的主体包括两部分:底座11和安装在底座上的立柱1,所述立柱1顶部安装有X光机座2,其上安装有X光机3,所述X光机3通过齿轮齿条配合,可以进行升降调节,同时,在立柱1内配备有配重块,方便X光机座的升降调节;所述底座11上依次安装有下层支座10、中层台面9和上台面6,其中中层台面9一端与下层支座10是可翻转连接,另一端与下层支座10通过螺钉8连接,通过调整螺钉8的升降能够调节中层台面9的倾斜角度,所述中层台面9上安装有可在中层台面上360°转动的上台面6,上台面6上安装有三爪卡盘;
所述上台面6呈工字型,工字型下端两侧各有一块压板7将上台面6压紧固定在中层台面9上。
测量时将蓝宝石4放置在三爪卡盘5上并卡紧,测量前,松开压板7后可以360旋转上台面6,通过X光机3配备的记录仪,找到其电流的峰值;夹紧压板7,旋转上台面90°,通过螺钉8调整中层台面9和下层台面10之间的角度,通过记录仪观察电流最高峰值。
当X光机3在测量蓝宝石4的晶向时,转动上台面6使蓝宝石4同时转动,可以直接测量到一个最佳的晶向面(只有一个最佳值,如果有无数个最佳值,此时晶向面即是合格的晶向面)将测量到的晶向面转动上台面690°后,在测量另一个晶向面,首先将压板7紧固,调整螺钉8使中层台面9的一端上升或下降,直到测量晶向的最大值时,十字定向测量完成。
本实用新型可以安装在平面磨上或者套料机上,测量完成后可直接磨平面或直接套料,一次装夹完成十字定向及材料的加工,提高了测量和加工效率。
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