[实用新型]具有充放电功能的TEM样品提取工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体物理失效分析工具，具体涉及一种具有充放电功能的TEM样品提取工具。

背景技术

TEM（Transmission electron microscope，透射电子显微镜）样品的制备方法有多种，其中FIB（Focus Ion Beam，聚焦离子束）用于实现定点位置的减薄制样。通过FIB制好TEM样品后，需要使用Pick up（拾取）工具将样品从wafer（晶圆）上吸起来并放置到TEM专用的铜网上。

使用Pick up工具吸放TEM样品时，需要依靠玻璃针尖（采用玻璃硝子管加热后拉细烧断而形成）所带的静电（正电荷）吸起Wafer上的微小样品，然后放到特制的铜网（copper grid）上。

但是，由于静电的吸引，吸起的样品不容易放在铜网上，在放置样品时可能会导致样品的破环或丢失。另外，环境的变化会影响到玻璃针尖的静电荷量，使用时极不稳定。并且，由于玻璃针尖所带静电荷量少，使得FIB制作的TEM样品的大小受到限制，目前样品的大小一般为长15微米，宽3～5微米。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种具有充放电功能的TEM样品提取工具，它可以使TEM样品的吸放变得简单、方便而且安全。

为解决上述技术问题，本实用新型具有充放电功能的TEM样品提取工具的技术解决方案为：

包括针尖，针尖的尾部与探针底座连接；探针底座固定连接可调电容器的第一极板，可调电容器的第二极板固定设置于绝缘支架上；所述可调电容器与电池、电源开关组成一串联回路。

所述串联回路上串联有滑动变阻器。

所述针尖为钨针。

所述电池设置于电池安装盒内。

所述电池安装盒连接固定安装把手。

本实用新型可以达到的技术效果是：

本实用新型使针尖连接一个带有充放电功能的电路，在提取样品时使针尖上带有电荷，而放样品时将电荷导走，同时不会因针尖电荷不够导致样品在提取过程中丢失。

本实用新型能够控制针尖上的电荷量，从而使TEM样品的大小不受限制。

本实用新型能够使TEM样品的吸放变得简单、方便而且安全，大大改善制备样品的成功率，提高工作效率。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：

图1是本实用新型具有充放电功能的TEM样品提取工具的示意图；

图2是本实用新型的电路图。

图中附图标记说明：

1为针尖，            2为可换探针底座，

3为可调电容器，      4为绝缘支架，

5为电路连接件，      6为电池安装盒，

7为固定安装把手，    8为电源开关，

61为电池。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型具有充放电功能的TEM样品提取工具，包括针尖1，针尖1的尾部与可换探针底座2连接；可换探针底座2固定连接可调电容器3的第一极板，可调电容器3的第二极板固定设置于绝缘支架4上；

可调电容器3的两个极板分别与电路连接件5电连接，电路连接件5连接电池安装盒6；电路连接件5电连接电源开关8；

电池安装盒6内的电池61通过电路连接件5与可调电容器3、电源开关8组成一串联回路；

电池安装盒6连接固定安装把手7。

针尖1为金属材质的钨针，使针尖1与可调电容器4导通。

考虑到空气的潮湿度或者环境的变化对吸放样品的影响以及样品大小的不同，可以在电路连接件5上设置滑动变阻器，使针尖1上的电荷数能够在一定的范围内连续可调。

本实用新型的工作原理如下：

如图2所示，通过电源开关8控制电路连接件5通电与否，当电路连接件5通电时，电池安装盒6内的电池61对可调电容器3充电，使针尖1上带有电荷，样品很容易被吸附在针尖1上，此时可提取样品；需要放置样品时，使电路连接件5断电，使可调电容器3放电，将针尖1上的电荷导走，样品就能准确地放置在铜网上，从而使TEM样品的吸放更容易操作，成功率更高。