[实用新型]一种可调节的红外线灯组及加热装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺技术领域，特别涉及一种可调节的红外线灯组及加热装置。

背景技术

外延是指在单晶衬底上生长一层新单晶的技术，新单晶的晶向取决于衬底，由衬底向外外延而成。为了保证得到高质量的外延层，必须控制好各种工艺参数，其中最关键的参数就是工艺中衬底的温度。温度影响电阻率的均匀性，源气体反应需要特定的温度，如果衬底表面温度改变，不仅外延层不均匀而且晶体性质也不均匀，轻微的温度不均匀会导致晶体滑移。为了达到反应温度要求，外延腔室采用双面灯加热方式，加热灯管为上下交叉平行分布。由于外延腔室的特殊结构需求，在旋转升降轴附近的基座所获得的热源较少，容易导致晶体受热不均匀，影响了外延层的均匀性。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是：如何提供一种可调节的红外线灯组及加热装置，以作为双面灯的补偿热源，使晶体受热更加均匀。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可调节的红外线灯组，其包括：固定管、加热器、角度调节架、纵向调节架；

所述固定管固定在外延腔室内；

所述加热器设置在所述固定管的内部；

所述角度调节架的中部连接所述加热器，下部滑动连接所述纵向调节架的下部，用于调节所述加热器与所述固定管间夹角；

所述纵向调节架的上部滑动连接所述固定管，用于调节所述加热器相对所述固定管的纵向位移。

优选地，所述纵向调节架的下部沿横向设置有弧形槽孔；所述角度调节架的下部通过螺栓与所述弧形槽孔滑动连接；所述弧形槽孔上设置有刻度。

优选地，所述固定管上设置有长圆孔，所述纵向调节架的上部通过螺栓与所述长圆孔滑动连接。

优选地，所述灯组还包括反光杯和灯座；所述反光杯的下部连接所述角度调节架的上部，所述加热器设置在所述反光杯的中部；所述加热器的下部通过所述灯座连接所述角度调节架的中部。

优选地，所述固定管和反光杯整体镀金，并且镀金膜的厚度不小于2.5微米。

优选地，所述加热器采用卤素灯。

优选地，所述角度调节架和纵向调节架均采用不锈钢或者铝合金。

本实用新型还提供一种采用所述可调节的红外线灯组的加热装置，所述加热装置包括至少一对所述灯组，并且每对中的两个所述灯组呈镜像对称设置。

优选地，所述加热装置包括两对所述灯组，相邻所述灯组通过连接架互相连接。

优选地，所述加热装置通过所述连接架连接外延腔室；所述连接架整体镀金，并且镀金膜的厚度不小于2.5微米。

(三)有益效果

本实用新型的可调节的红外线灯组及加热装置，通过所述角度调节架和所述纵向调节架，可以方便地调节所述加热器与待加热晶体间的距离和角度，从而可以方便地调节所述加热器的加热功率和辐射范围，能够作为双面灯的补偿热源，使晶体受热更加均匀，从而得到性质均匀、高质量的外延层。

附图说明

图1是本实用新型实施例所述可调节的红外线灯组的前向结构示意图；

图2是本实用新型实施例所述可调节的红外线灯组的后向结构示意图；

图3是本实用新型实施例所述可调节的红外线灯组的局部结构示意图；

图4是本实用新型实施例所述可调节的红外线灯组的剖视图；

图5是本实用新型实施例所述加热装置的主视图；

图6是本实用新型实施例所述加热装置的俯视图；

图7是本实用新型实施例所述加热装置的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。