[实用新型]双微镜旋转扫描器件有效
| 申请号： | 201220240895.2 | 申请日： | 2012-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN202880858U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 徐英舜 | 申请（专利权）人： | 凝辉(天津)科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300384 天津市华苑产*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双微镜 旋转 扫描 器件 | ||
【权利要求书】：
1.一种双微镜旋转扫描器件，其特征在于：它包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片，微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连，平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连；每个器件包括1个环形镜片、1个圆形镜片、8个平面弹簧和8个微驱动器，环形镜片和圆形镜片各与4个平面弹簧相连，每个平面弹簧与1个微驱动器相连。
2.如权利要求1所述的一种双微镜旋转扫描器件，其特征在于：所述的微驱动器采用微加工技术制成，基于电热驱动原理。
3.如权利要求1所述的一种双微镜旋转扫描器件，其特征在于：所述的环形镜片和圆形镜片的机械偏转角度均为0-45度。
4.如权利要求1所述的一种双微镜旋转扫描器件，其特征在于：所述的平面弹簧采用微加工技术制成。
5.如权利要求1所述的一种双微镜旋转扫描器件，其特征在于：所述的环形镜片为环形，采用微加工技术制成，一面镀有高反射率镀层。
6.如权利要求1所述的一种双微镜旋转扫描器件，其特征在于：所述的圆形镜片为圆形，采用微加工技术制成，与环形镜片反光面相对的表面镀有高反射率镀层。
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