[实用新型]丝网印刷装置

权利要求书

1.一种丝网印刷装置，使设有图案孔的掩模板与基板抵接，并使涂刷器在被供给了膏剂的所述掩模板上滑动，由此，经由所述图案孔将膏剂印刷到基板上，其特征在于，具备：

掩模支架，其保持所述掩摸板；

基板定位部，其从下方将基板相对于被所述掩模支架保持的掩模板定位；

涂刷器移动机构，其在掩模板上使所述涂刷器水平移动；

电离器，其对所述基板吹附在压缩空气中混合有除电离子的除电气体，

所述电离器通过以所述压缩空气为驱动源的发电装置产生的电力，生成所述除电离子。

2.如权利要求1所述的丝网印刷装置，其特征在于，

所述电离器对被所述基板定位部保持的所述基板的下面吹附所述除电气体。

3.一种电离器，其用于在半导体制造设备或电子零件安装用设备中除去对象物上的静电的除电用途，对所述对象物吹附在压缩空气中混合有除电离子的除电气体，其特征在于，

利用以所述压缩空气为驱动源的发电装置产生的电力，生成所述除电离子。