[实用新型]一种用于拉制6寸区熔单晶硅加热线圈有效
| 申请号： | 201220235943.9 | 申请日： | 2012-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN202658263U | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 刘剑 | 申请（专利权）人： | 刘剑 |
| 主分类号： | C30B13/20 | 分类号： | C30B13/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 332000 *** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 拉制 寸区熔 单晶硅 加热 线圈 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于拉制6寸区熔单晶硅加热线圈，包括线圈盘体(5)，此线圈盘体(5)与外侧线圈法兰盘(1)相接，其特征在于：所述线圈盘体(5)外围环绕设置环形线圈水路(4)，位于线圈水路(4)里侧设置线圈台阶(3)，。
2.根据权利要求1所述的用于拉制6寸区熔单晶硅加热线圈，其特征在于：所述线圈盘体(5)外径设置为150mm-270mm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于刘剑，未经刘剑许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201220235943.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
