[实用新型]真空启闭机构有效
申请号: | 201220224217.7 | 申请日: | 2012-05-17 |
公开(公告)号: | CN202610315U | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 郭远伦;李思述;范振华;刘惠森 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;H01L31/18 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东省东莞市南城*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 启闭 机构 | ||
1.一种真空启闭机构,适用于对太阳能基板的镀膜或封装生产,其特征在于:包括阀体、纵向驱动机构、斜楔、一对阀板、一对真空腔室及一对滚子机构,所述纵向驱动机构安装于所述阀体的上端,且输出端密封地伸入所述阀体内与所述斜楔连接,所述斜楔截面呈上大下小的等腰梯形结构,且两侧面分别开设有呈凸形的第一燕尾槽,所述阀板对称地设置于所述斜楔的两侧,所述阀板的内侧面为与所述斜楔相配合的斜面,且设有呈凹形的第二燕尾槽,所述第一燕尾槽与所述第二燕尾槽滑动配合,所述阀体两侧开设有相互连通的开口,所述真空腔室设置于所述阀体的两侧且分别与所述开口连通,所述阀板的外侧面设有第一密封圈,所述第一密封圈可与所述开口四周密封地抵触,其中一所述阀板开设有两侧相贯通的通气孔,所述阀板封闭所述开口时,所述通气孔与对应的所述开口连通,所述滚子机构分别安装于所述阀体的内底部两端,且可承载并引导所述阀板水平移动而封闭或打开所述开口。
2.如权利要求1所述的真空启闭机构,其特征在于:所述纵向驱动机构包括气缸、连接板及连接轴,所述气缸的输出端与所述连接板的一端垂直地连接,所述连接轴处于所述气缸的同侧且一端与所述连接板的另一端垂直地连接,所述连接轴的另一端密封地伸入所述阀体内并与所述斜楔连接。
3.如权利要求2所述的真空启闭机构,其特征在于:所述纵向驱动机构还包括密封组件,所述密封组件包括法兰、第二密封圈及波纹管,所述波纹管套接所述连接轴,且一端与所述连接板密封连接,另一端与所述法兰密封地连接,所述法兰固定于所述阀体的上表面,所述第二密封圈设置于所述法兰与所述阀体之间。
4.如权利要求2所述的真空启闭机构,其特征在于:所述纵向驱动机构还包括轴套,所述轴套安装于阀体的上端且伸入所述阀体内,并与所述连接轴套接。
5.如权利要求1所述的真空启闭机构,其特征在于:所述第一燕尾槽的表面安装有滚子组件,所述滚子组件包括滚子底座及若干第一滚子,所述第一滚子枢接于所述滚子底座内且与所述阀板的斜面滚动接触。
6.如权利要求1所述的真空启闭机构,其特征在于:所述斜楔的前后两端安装有导向滚子,所述阀体的前后两端的内侧壁开设有导向槽,所述导向滚子安装于所述导向槽内且与所述导向槽滚动接触。
7.如权利要求1所述的真空启闭机构,其特征在于:所述滚子机构包括滚子固定座、滚子安装件及第二滚子,所述滚子固定座安装于所述阀体内底部两端的侧壁上,所述滚子安装件固定于所述滚子固定座上,所述第二滚子枢接于所述滚子安装件上。
8.如权利要求1所述的真空启闭机构,其特征在于:所述斜楔的底面安装有限位块,所述阀板分别开设有凹槽,所述限位块向两端延伸地突出于所述斜楔的底面且与所述凹槽配合,所述限位块的长度小于所述阀板的长度,防止与所述滚子机构抵触。
9.如权利要求1所述的真空启闭机构,其特征在于:所述阀体的内侧壁的开口的上方设置有阻挡块,所述阀板封闭所述开口时,所述阻挡块阻挡所述阀板上升。
10.如权利要求1所述的真空启闭机构,其特征在于:所述真空启闭机构还包括连接块,所述连接块的一端与所述纵向驱动机构的输出端连接,另一端与所述斜楔的上端连接。
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