[实用新型]一种气相外延设备进行材料生长的控制系统有效
| 申请号： | 201220221883.5 | 申请日： | 2012-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN202717874U | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 袁志鹏;刘鹏;赵红军;张茶根;张俊业;毕绿燕;张国义;童玉珍;孙永健 | 申请（专利权）人： | 东莞市中镓半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/16 | 分类号： | C30B25/16 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 余长江 |
| 地址： | 523500 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 外延 设备 进行 材料 生长 控制系统 | ||
1.一种气相外延设备进行材料生长的控制系统，其特征在于包括一工控机和一可编程控制器，所述工控机通过工业通信总线分别与气相外延设备的可编程控制器、气体流量计、和/或压力控制器、和/或加热器、和/或转动盘连接。
2.如权利要求1所述的控制系统，其特征在于所述工控机通过工业通信总线网络结构分别与气相外延设备的可编程控制器、气体流量计、和/或压力控制器、和/或加热器、和/或转动盘连接。
3.如权利要求1所述的控制系统，其特征在于在所述气相外延设备的材料生长衬底上设置若干温度传感器；所述温度传感器分别通过数据线与所述工控机连接。
4.如权利要求3所述的控制系统，其特征在于在所述气相外延生长室中设置上、下辅助温区加热器和一主温区加热器；所述上、下辅助温区加热器以及所述主温区加热器分别经温度控制器在工业通信总线上与所述工控机连接。
5.如权利要求1或4所述的控制系统，其特征在于所述气体流量计包括一两级联动气动阀开关，其中，第一级气动阀和第二级气动阀安装在同一多接口板卡上，第一级气动阀和第二级气动阀根据逻辑关系和所述工控机中设定的时间间隔进行自动开启和关闭；所述多接口板卡通过数据线与所述工控机连接、或所述多接口板卡通过安装在所述工控机主板上与所述工控机连接。
6.如权利要求5所述的控制系统，其特征在于所述压力控制器的蝶阀压力角度变化范围值设定为大于5°小于40°。
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