[实用新型]一种设置有新型护板的用于制备低碳低氧多晶硅的铸锭炉

权利要求书

1.一种设置有新型护板的用于制备低碳低氧多晶硅的铸锭炉，包括石英坩埚（12），所述石英坩埚（12）的外壁上设置有石墨护板（11），石英坩埚（12）上设置有盖板（7），其特征在于：所述盖板（7）上设置有盖板钼片（8）；所述石墨护板（11）上设置有护板钼片（10）。

2.根据权利要求1所述的一种设置有新型护板的用于制备低碳低氧多晶硅的铸锭炉，其特征在于：所述护板钼片（10）同时贴合在石墨护板（11）的端面以及石英坩埚（12）的外壁上；盖板钼片（8）贴附在盖板（7）的底端。

3.根据权利要求2所述的一种设置有新型护板的用于制备低碳低氧多晶硅的铸锭炉，其特征在于：所述盖板钼片（8）通过钼钉（9）固定在盖板（7）上。

4.根据权利要求1所述的一种设置有新型护板的用于制备低碳低氧多晶硅的铸锭炉，其特征在于：所述盖板（7）的截面尺寸小于石英坩埚（12）的端口内径尺寸，且盖板（7）连接有盖板吊杆（15），盖板吊杆（15）带动盖板（7）在石英坩埚（12）内上下移动。

5.根据权利要求4所述的一种设置有新型护板的用于制备低碳低氧多晶硅的铸锭炉，其特征在于：所示盖板（7）四周边缘与石英坩埚（12）内壁之间的间距相等。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的一种设置有新型护板的用于制备低碳低氧多晶硅的铸锭炉，其特征在于：所述盖板（7）采用碳-碳纤维制成。