[实用新型]一种磁控溅射旋转靶

权利要求书

1.一种磁控溅射旋转靶，包括靶筒、靶轴、靶材和磁体，靶材装在靶筒的外壁上，磁体位于靶筒内部，其特征在于所述靶筒的两端设有连接构件，该连接构件由端头、靶轴支承座和连接夹套组成，端头由连接夹套安装在靶筒的两端，靶轴支承座安装在端头内，靶轴的一端装有磁体移动机构，另一端装有靶材旋转机构。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶，其特征在于所述靶轴贯穿靶筒，靶轴支承座内设有靶轴移动槽。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶，其特征在于所述靶轴的两端设有平面台阶，该平面台阶配合插接在靶轴移动槽内。

4.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶，其特征在于所述磁体移动机构主要由电机、齿轮和齿条组成，电机的运动轴上装有齿轮，靶筒的端头装有齿条，齿轮与齿条啮合。

5.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶，其特征在于所述靶轴装有靶材旋转机构的一端，其上的靶轴支承座的长度大于端头的长度。

6.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶，其特征在于所述靶材旋转机构包括电机、主齿轮和副齿轮，电机的转动轴上装有主齿轮，靶筒的端头上装有副齿轮，主齿轮与副齿轮相啮合，带动靶材旋转。

7.根据权利要求1所述的磁控溅射旋转靶，其特征在于所述磁体包括固定块、封闭盒、靶靴和多组磁铁，磁铁安装在磁靴上，且置于封闭盒内，该封闭盒由固定块安装在靶轴上。

8.根据权利要求7所述的磁控溅射旋转靶，其特征在于所述磁体的封闭盒内装有冷却水。