[实用新型]一种单晶炉及其取单晶棒的保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，特别涉及一种单晶炉及其取单晶棒的保护装置。

背景技术

单晶棒生产完成后，在出棒的过程中，设备的旋转会造成单晶棒的晃动，尤其在旋转启动、停止过程中由于惯性作用会加剧单晶棒的晃动，容易造成单晶棒的掉落。

目前大部分单晶炉上装有的保护装置，大多为固定在设备一侧的单侧旋转式，例如：北京京运通单晶炉、宁晋阳光半导体设备。如图1所示，这种单侧旋转式的保护装置，具有沿竖直方向设置的弹性回复装置，下端连接有保护盘子，平时整个保护装置固定在设备的左侧，不影响其正常工作；如图2所示，在使用时用力拉下该保护装置的摇臂，再将保护盘子旋转至设备的正下方，以防止单晶棒的掉落，而为了能够托起重达上百公斤的单晶棒，弹簧装置往往被设置具有较大的回复力，在保护盘子旋转至中央位置后，摇臂向上归位的过程中，会给设备带来较大的冲击，容易引起单晶棒晃动，从而带来安全隐患。

请参阅图3，还有一种美国kayex的单晶炉晶棒保护装置是两侧为孔洞设计，保护盘子采用从一侧插入另一侧的方式，即单侧插入式。在操作过程中，保护装置容易接触、碰撞单晶棒尾部，同样存在安全隐患。

可见，现有技术中的保护装置在使用过程中容易碰撞单晶棒，会对单晶棒产品质量造成损伤，甚至是砸坏设备。

因此，如何设计一种取单晶棒的保护装置，尽量避免与单晶棒的过多接触，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型首先提供了一种取单晶棒的保护装置，减少保护装置对单晶棒的碰撞，增加操作过程中的安全系数。

本实用新型还提供了一种具有上述取单晶棒的保护装置的单晶炉。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种取单晶棒的保护装置，具有用于托接单晶棒的保护托盘，所述取单晶棒的保护装置还具有用于悬挂在单晶炉外壁上的悬挂机构。

优选的，所述悬挂机构具体为设置在所述保护托盘两侧的两个吊杆，两个所述吊杆的端部均开设有悬挂槽，分别用于悬挂在固定于所述单晶炉外壁两侧的螺栓上。

优选的，所述吊杆的长度与所述单晶棒伸出所述单晶炉的部分相配合。

优选的，所述吊杆上至少开设有两个所述悬挂槽，并沿所述吊杆的长度方向均匀分布。

优选的，所述保护托盘具有中空的圆孔结构，且所述圆孔的直径小于所述单晶棒的最大直径。

优选的，所述圆孔结构的内壁具有与所述单晶棒的倒锥形尾部配合的锥形结构。

一种单晶炉，具有用于取单晶棒的保护装置，所述取单晶棒的保护装置为上述的取单晶棒的保护装置，所述单晶炉外壁两侧分别设置有供所述取单晶棒的保护装置悬挂的螺栓。

从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供的取单晶棒的保护装置，采用悬挂式设计，在单晶炉设备上安装固定螺栓，保护装置通过其悬挂机构可以轻松悬挂于螺栓上，不至于接触单晶棒。此外，由于悬挂式结构的活动性，单晶棒接触保护装置后，保护装置会跟随单晶棒一起晃动，产生甚少阻力，从另一角度增加了设备的安全性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中单侧旋转式保护装置在使用前的示意图；

图2为现有技术中单侧旋转式保护装置在使用过程中的示意图；

图3为现有技术中单侧插入式保护装置的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的取单晶棒的保护装置的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的单晶炉的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型公开了一种取单晶棒的保护装置，减少保护装置对单晶棒的碰撞，增加操作过程中的安全系数。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。